本文關(guān)鍵詞：閃耀角可調(diào)微型可編程光柵的優(yōu)化設(shè)計(jì)與仿真模擬

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【摘要】：基于體硅微加工技術(shù),設(shè)計(jì)了一種閃耀角可調(diào)的微型可編程光柵,對(duì)該光柵進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì),并理論計(jì)算不同閃耀角、入射角條件下相對(duì)光強(qiáng)分布,采用COMSOL有限元仿真軟件模擬不同入射參量下遠(yuǎn)場(chǎng)相對(duì)光強(qiáng)分布.結(jié)果表明:設(shè)計(jì)的可編程光柵有效反射面積占光柵總面積的83.63%,比表面微加工技術(shù)設(shè)計(jì)的光柵提高8%以上,最大工作閃耀角為6.84°;當(dāng)532nm波長(zhǎng)垂直入射時(shí),0~10°閃耀角調(diào)制范圍內(nèi)最大衍射效率為96.67%.
【作者單位】： 西北工業(yè)大學(xué)空天微納系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;西北工業(yè)大學(xué)陜西省微納機(jī)電系統(tǒng)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 微型可編程光柵 閃耀角可調(diào) 硅微加工 微機(jī)電系統(tǒng) 衍射效率
【基金】：航空科學(xué)基金(No.2013ZC53036) 國(guó)家自然科學(xué)基金(No.51375400) 教育部新世紀(jì)優(yōu)秀人才支持計(jì)劃 中央高�；究蒲袠I(yè)務(wù)費(fèi)重大項(xiàng)目培育基金(No.3102014JC02020504) 全國(guó)優(yōu)秀博士論文作者專項(xiàng)資金(No.201430)資助~~
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： 率達(dá)80%等優(yōu)點(diǎn),然而該光柵一經(jīng)制作完成,其光柵0　引言周期、閃耀角等結(jié)構(gòu)參量便無(wú)法改變,無(wú)法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)、光柵作為一種重要的光學(xué)元件在測(cè)試計(jì)量、多光動(dòng)態(tài)測(cè)量,因此應(yīng)用受到了一定限制.近年來(lái),基于微譜成像以及傳感等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用[1-5].傳統(tǒng)的機(jī)機(jī)電系統(tǒng)(Microelectrom，

本文編號(hào)：1124834