本文關(guān)鍵詞：一種正弦相位調(diào)制光纖干涉條紋相位穩(wěn)定方法

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【摘要】：為了消除環(huán)境因素(尤其是振動(dòng)和溫度波動(dòng))在物體表面三維形貌測量中的影響,基于正弦相位調(diào)制(SPM)發(fā)展了一種光纖干涉條紋相位穩(wěn)定技術(shù)。利用馬赫-澤德光纖干涉儀結(jié)構(gòu)和楊氏雙孔干涉原理實(shí)現(xiàn)高密度的余弦分布干涉條紋投射。利用兩光纖干涉臂端面的菲涅爾反射生成邁克爾遜干涉信號(hào),由光電探測器(PD)檢測后送入相位控制系統(tǒng)。采用相位生成載波的方法提取干涉信號(hào)的相位,并將生成的補(bǔ)償信號(hào)閉環(huán)反饋給壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器,與正弦相位調(diào)制信號(hào)相加后共同驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷,補(bǔ)償環(huán)境因素帶來的相位漂移,實(shí)現(xiàn)干涉條紋相位的穩(wěn)定。環(huán)境因素對條紋相位的影響低于57 mrad,實(shí)驗(yàn)結(jié)果驗(yàn)證了該方法可行性。
【作者單位】： 天津大學(xué)精密測試技術(shù)及儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 正弦相位調(diào)制 光纖干涉 相位穩(wěn)定 閉環(huán)反饋
【基金】：國家863高技術(shù)計(jì)劃(2013AA102402)資助 國家自然科學(xué)基金(51275349)資助
【分類號(hào)】：TH744.3
【正文快照】： 0引言三維形貌測量技術(shù)是精密測量中的先進(jìn)技術(shù),在質(zhì)量控制、CAD/CAM、逆向工程、機(jī)器視覺、醫(yī)學(xué)診斷、服裝設(shè)計(jì)以及自動(dòng)導(dǎo)航等領(lǐng)域中占有重要的地位,是科學(xué)分析、工業(yè)控制、生物工程、生物醫(yī)學(xué)以及材料科學(xué)等方面進(jìn)行科學(xué)研究的重要手段[1]。高精度的表面形貌干涉測量方法主

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前6條

1 張超;段發(fā)階;蔣佳佳;王凱;;光纖壓電陶瓷相位調(diào)制系統(tǒng)及其在線標(biāo)定[J];光電工程;2011年06期

2 孫宇臣,葛寶臻,張以謨;物體三維信息測量技術(shù)綜述[J];光電子·激光;2004年02期

3 施清平;王利威;張敏;田芊;廖延彪;;一種消除伴生調(diào)幅的光源調(diào)頻型相位生成載波解調(diào)方法[J];光電子.激光;2011年02期

4 何國田;王向朝;曾愛軍;;物體表面形貌的正弦相位調(diào)制實(shí)時(shí)干涉測量技術(shù)研究[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2007年11期

5 邊心田;蘇顯渝;陳文靜;;基于條紋投影的三維坐標(biāo)測量方法[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2010年02期

6 何國田;王向朝;曾愛軍;唐鋒;;Sinusoidal phase-modulating laser diode interferometer for real-time surface profile measurement[J];Chinese Optics Letters;2007年03期

【共引文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 韓光瞬;馮仲科;劉永霞;王小昆;;三維激光掃描系統(tǒng)測樹原理及精度分析[J];北京林業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào);2005年S2期

2 孫哲明;葛寶臻;;激光三維掃描圖像處理算法及DSP的實(shí)現(xiàn)[J];電子測量技術(shù);2008年01期

3 李陽;蘇曉星;劉艷;劉志波;馬林;寧提綱;簡水生;;基于基頻混頻的相位生成載波調(diào)制解調(diào)方法研究[J];光電子.激光;2012年05期

4 崔海華;廖文和;程筱勝;戴寧;傅士強(qiáng);;相位展開算法中質(zhì)量權(quán)值的數(shù)學(xué)描述與分析[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2010年01期

5 史紅健;計(jì)宏偉;何小元;;一種三維變形光學(xué)測量系統(tǒng)及微結(jié)構(gòu)力學(xué)性能測試應(yīng)用[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2011年03期

6 王學(xué)亮;鞏巖;;光刻物鏡中壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的動(dòng)態(tài)性能研究[J];光子學(xué)報(bào);2012年09期

7 王凱;施清平;蔣佳佳;戴之光;田長棟;段發(fā)階;張敏;廖延彪;;參數(shù)估計(jì)誤差對光纖水聽器PGC反正切解調(diào)性能的影響[J];光電子.激光;2012年10期

8 劉志波;李陽;蘇耘;劉艷;譚中偉;馬林;簡水生;;基于壓電陶瓷的光相位調(diào)制器的調(diào)制系數(shù)測量及驗(yàn)證[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2013年07期

9 施清平;劉彬彬;鄭桂波;安雪巖;張敏;;干涉可見度波動(dòng)對PGC解調(diào)傳感器結(jié)果的影響分析[J];電子世界;2013年14期

10 張愛玲;王愷晗;郝彬;王燕;;干涉型光纖傳感器PGC解調(diào)算法的研究[J];光電技術(shù)應(yīng)用;2013年06期

中國重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 何國田;廖昌榮;黃尚廉;張亮;蔣合倫;楊興;;抗干擾型SPM-LD實(shí)時(shí)面形干涉測量儀[A];2008中國儀器儀表與測控技術(shù)進(jìn)展大會(huì)論文集（Ⅰ）[C];2008年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 宋慶和;數(shù)字全息檢測及其控制系統(tǒng)研究[D];昆明理工大學(xué);2008年

2 盧科青;逆向工程中多傳感器集成的自由曲面數(shù)字化測量及其數(shù)據(jù)預(yù)處理方法研究[D];浙江大學(xué);2010年

3 趙輝煌;SMT焊點(diǎn)圖像處理及焊點(diǎn)三維質(zhì)量信息提取技術(shù)研究[D];西安電子科技大學(xué);2010年

4 馬利紅;數(shù)字全息顯微成像像質(zhì)優(yōu)化及系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)[D];浙江大學(xué);2011年

5 張可;基于雙目立體視覺原理的自由曲面三維重構(gòu)[D];華中科技大學(xué);2005年

6 翟乃斌;基于計(jì)算機(jī)視覺的汽車整車尺寸測量系統(tǒng)的研究[D];吉林大學(xué);2007年

7 王曉嘉;旋轉(zhuǎn)對稱三角傳感器智能信號(hào)處理系統(tǒng)研究[D];合肥工業(yè)大學(xué);2007年

8 張南洋生;多譜段空間光調(diào)制三維形貌測量技術(shù)[D];華中科技大學(xué);2006年

9 張志峰;輪對幾何參數(shù)在線動(dòng)態(tài)測量方法與系統(tǒng)的研究[D];北京交通大學(xué);2008年

10 陳華;基于數(shù)字散斑相關(guān)方法的視覺變形測量技術(shù)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2008年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 林華云;蒸汽發(fā)生器檢修機(jī)械臂的視覺測量研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2010年

2 劉國玉;半導(dǎo)電聚合物表面突起測量儀的研究[D];哈爾濱理工大學(xué);2010年

3 黃紫嫣;基于光柵投影方法的木材三維輪廓測量系統(tǒng)研究[D];北京林業(yè)大學(xué);2011年

4 譚春暉;投影法測量飛行物姿態(tài)角精度的研究[D];南京理工大學(xué);2011年

5 黃佳;基于工業(yè)機(jī)器人的三維激光掃描測量系統(tǒng)研究[D];天津大學(xué);2012年

6 王瑞杰;顯微條紋投影系統(tǒng)與測量方法研究[D];天津大學(xué);2012年

7 唐曦;基于白光干涉技術(shù)的表面粗糙度測量[D];哈爾濱理工大學(xué);2011年

8 胡曉東;螺紋量規(guī)檢測專用軟件的設(shè)計(jì)與開發(fā)[D];電子科技大學(xué);2011年

9 黎明;三維激光測量技術(shù)及應(yīng)用研究[D];浙江大學(xué);2005年

10 王寧玲;立體視覺在非接觸三維測量中的應(yīng)用與研究[D];華北電力大學(xué)（河北）;2005年

【二級參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 劉元坤;蘇顯渝;;基于相位測量的攝像機(jī)標(biāo)定方法[J];光電工程;2007年11期

2 王惠臨;蘇顯渝;楊煥東;;基于傅里葉變換的點(diǎn)衍射干涉術(shù)[J];光電工程;2008年02期

3 顧宏?duì)N;黃俊斌;苑秉成;譚波;李日忠;李玉;;光纖激光水聽器陣列實(shí)驗(yàn)研究[J];光電子.激光;2009年05期

4 李敏;謝芳;陳志敏;;高穩(wěn)定的光纖3×3耦合器干涉位移測量系統(tǒng)[J];光電子.激光;2010年02期

5 羅志會(huì);陳池;;大量程分布式光纖傳感器的研究與應(yīng)用[J];光電子.激光;2010年06期

6 孫立寧,孫紹云,曲東升,蔡鶴皋;基于PZT的微驅(qū)動(dòng)定位系統(tǒng)及控制方法的研究[J];光學(xué)精密工程;2004年01期

7 節(jié)德剛,劉延杰,孫立寧,孫紹云,蔡鶴皋;一種宏微雙重驅(qū)動(dòng)精密定位機(jī)構(gòu)的建模與控制[J];光學(xué)精密工程;2005年02期

8 田延嶺;張大衛(wèi);閆兵;;二自由度微定位平臺(tái)的研制[J];光學(xué)精密工程;2006年01期

9 郭玉彬;霍佳雨;靳江濤;王天樞;閆紅偉;李沛然;;LiNbO_3外調(diào)制器的10 Gbit/s光纖傳輸系統(tǒng)[J];光學(xué)精密工程;2007年01期

10 吳亞雷;吳有金;朱龍洋;劉芳;褚家如;;PZT薄膜驅(qū)動(dòng)的全光纖相位調(diào)制器數(shù)學(xué)模型[J];光學(xué)精密工程;2007年02期

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 楊利紅,施浣芳,陳智利;馬赫-澤德干涉條紋圖像處理算法[J];西安工業(yè)學(xué)院學(xué)報(bào);2005年01期

2 金雪峰;魯懷偉;饒芮菱;;一種散斑干涉條紋的細(xì)化處理[J];蘭州交通大學(xué)學(xué)報(bào);2006年06期

3 閆海燕;;如何尋找干涉條紋及干涉條紋的調(diào)法[J];中國計(jì)量;2009年12期

4 王海濤;羅秋鳳;萬敏;姜兆芳;朱永凱;田貴云;;基于條紋中心線法的電子散斑干涉條紋信息提取[J];南京航空航天大學(xué)學(xué)報(bào);2010年01期

5 權(quán)貴秦;王剛;;坐標(biāo)變換的干涉條紋處理方法[J];西安工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào);2010年02期

6 徐澤科;;利用白光的一次條紋定位的可能性[J];計(jì)量技術(shù);1979年03期

7 李茂山;;用激光源尋找靜態(tài)“零”級干涉條紋[J];計(jì)量技術(shù);1981年06期

8 侯爾志;;用干涉條紋進(jìn)行光學(xué)觸測的發(fā)展概況[J];國外計(jì)量;1979年03期

9 A.Erben;侯爾志;;用二坐標(biāo)測量儀測量長度時(shí)采用干涉條紋對孔壁的光學(xué)觸測[J];國外計(jì)量;1984年01期

10 杜建國;;高精度測試中的干涉條紋對比度[J];計(jì)量技術(shù);1985年05期

中國重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 石琦凱;鄧燕;柴立群;;多表面干涉條紋中相位信息的提取[A];提高全民科學(xué)素質(zhì)、建設(shè)創(chuàng)新型國家——2006中國科協(xié)年會(huì)論文集（下冊）[C];2006年

2 李浩然;蘇俊宏;葛愛明;楊利紅;;干涉條紋自動(dòng)判讀關(guān)鍵技術(shù)研究[A];2011西部光子學(xué)學(xué)術(shù)會(huì)議論文摘要集[C];2011年

3 唐帥;;深海聲場干涉條紋特征研究[A];中國聲學(xué)學(xué)會(huì)水聲學(xué)分會(huì)2013年全國水聲學(xué)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2013年

4 蘇章菲;陳友江;周志有;李君濤;孫世剛;;電化學(xué)原位紅外反射光譜中薄層電解池厚度的干涉條紋法研究[A];全國第13屆分子光譜學(xué)術(shù)報(bào)告會(huì)論文集[C];2004年

5 王選擇;鐘毓寧;楊練根;;基于象限處理的干涉條紋相移提取算法[A];2006年湖北省博士論壇——先進(jìn)制造技術(shù)與制造裝備論文集[C];2006年

6 何祖斌;鄧燕;徐建程;許喬;柴立群;;相移算法振動(dòng)誤差分析[A];第十一屆全國光學(xué)測試學(xué)術(shù)討論會(huì)論文（摘要集）[C];2006年

7 莫衛(wèi)東;付振堂;張海防;張孟;范琦;馮明德;;干涉條紋密度的計(jì)算及應(yīng)用研究[A];第十四屆全國光學(xué)測試學(xué)術(shù)討論會(huì)論文（摘要集）[C];2012年

8 唐晨;朱新軍;孫晨;閻海青;;電子散斑干涉條紋處理偏(常)微分方程方法的回顧及應(yīng)用[A];中國力學(xué)大會(huì)——2013論文摘要集[C];2013年

9 陳鳳超;黃佐華;;干涉條紋周期的測量及其在位相檢測中的應(yīng)用[A];中國光學(xué)學(xué)會(huì)2006年學(xué)術(shù)大會(huì)論文摘要集[C];2006年

10 夏樟根;朱夢澤;姚艷婕;朱蓮根;王錦輝;;光測力學(xué)實(shí)驗(yàn)的設(shè)計(jì)和研究[A];第六屆全國高等學(xué)校物理實(shí)驗(yàn)教學(xué)研討會(huì)論文集（下冊）[C];2010年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 段曉杰;基于光纖干涉條紋投射的結(jié)構(gòu)光三維形貌測量技術(shù)研究[D];天津大學(xué);2013年

2 彭仁軍;激光干涉成像技術(shù)研究[D];電子科技大學(xué);2003年

3 袁博宇;基于全息技術(shù)的金屬電化學(xué)腐蝕過程在線檢測方法研究[D];中國礦業(yè)大學(xué);2014年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 金志德;多光束干涉條紋控制技術(shù)的研究[D];電子科技大學(xué);2010年

2 黃慧;閉合干涉條紋處理方法的研究[D];南京理工大學(xué);2013年

3 刁其龍;單頻機(jī)制穿透雷達(dá)成像的干涉條紋現(xiàn)象與抑制技術(shù)研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2012年

4 劉蘭嬌;納米位移測量中的干涉條紋技術(shù)研究[D];長春理工大學(xué);2010年

5 李蘭芳;光學(xué)綜合孔徑成像技術(shù)的實(shí)驗(yàn)研究[D];南京理工大學(xué);2004年

6 申冬玲;基于線陣CCD的條紋計(jì)數(shù)器系統(tǒng)研究[D];中南大學(xué);2007年

7 劉艷磊;光纖莫爾干涉三維輪廓術(shù)[D];哈爾濱工程大學(xué);2004年

8 馮淑艷;光波移相技術(shù)中的信息處理[D];遼寧師范大學(xué);2013年

9 程麗君;主動(dòng)抗振干涉技術(shù)中瞬態(tài)相位檢測的研究[D];南京理工大學(xué);2002年

10 吳子明;主動(dòng)抗振技術(shù)研究——單點(diǎn)探測與PZT補(bǔ)償[D];南京理工大學(xué);2003年

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本文編號(hào)：1115036