本文關(guān)鍵詞：動態(tài)原子力顯微鏡懸臂高階諧振相位特性研究

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【摘要】：硅懸臂具有多階諧振的特性,基于這一特性,提出了在動態(tài)原子力顯微鏡(AFM)中,利用硅懸臂高階諧振相位特性進(jìn)行三維掃描的方法,并對懸臂高階相位特性進(jìn)行了理論分析與實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。從理論上分析了AFM懸臂高階諧振相位特性較其一階諧振的相位特性有更高的靈敏度和空間分辨力,在自制動態(tài)AFM的基礎(chǔ)上加入相位反饋模塊進(jìn)行了實(shí)驗(yàn),實(shí)驗(yàn)測得懸臂一階、二階諧振的靈敏度分別為9.0和17.5 V/μm;垂直方向空間分辨力分別為0.56和0.29 nm,實(shí)驗(yàn)結(jié)果與理論分析一致。通過懸臂二階諧振相位掃描得到了光柵的表面形貌,證明了利用懸臂高階諧振相位特性進(jìn)行掃描的可行性。
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院;安徽建筑大學(xué)電子與信息工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 動態(tài)AFM 高階諧振 相位反饋 硅懸臂
【基金】：合肥工業(yè)大學(xué)青年教師創(chuàng)新項(xiàng)目(JZ2015HGQC0212) 安徽省高等學(xué)校省級自然科學(xué)基金(KJ2015JD09) 國家自然科學(xué)基金(50975075)資助項(xiàng)目
【分類號】：TH742
【正文快照】： 1引言原子力顯微鏡(atomic force microscope,AFM)是通過檢測微懸臂的變形來感測探針與試樣之間的原子力,從而實(shí)現(xiàn)物體表面形貌測量的。由于原子力顯微鏡具有高精度[1]、非破壞性、應(yīng)用范圍廣[2-5]等優(yōu)點(diǎn)而成為了研究微觀世界的有力工具。現(xiàn)有的AFM根據(jù)懸臂的工作模式分為動態(tài)

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本文編號：1071596