本文關(guān)鍵詞：非線(xiàn)性振動(dòng)條件下估算諧振梁品質(zhì)因數(shù)

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【摘要】：硅微諧振式加速度計(jì)在真空封裝后出現(xiàn)非線(xiàn)性振動(dòng),導(dǎo)致測(cè)量品質(zhì)因數(shù)的常規(guī)方法失效。為了能對(duì)真空封裝的加速計(jì)進(jìn)行精確監(jiān)測(cè),提出了一種品質(zhì)因數(shù)測(cè)量方法。該方法基于諧振梁的非線(xiàn)性振動(dòng)模型,通過(guò)將掃頻數(shù)據(jù)按照模型公式擬合得到品質(zhì)因數(shù),適用于非線(xiàn)性振動(dòng)時(shí)的情況。利用諧振式加速度計(jì)進(jìn)行實(shí)驗(yàn),驗(yàn)證了該方法的一致性和準(zhǔn)確性,測(cè)得加速度計(jì)品質(zhì)因數(shù)均在2×105以上。使用該方法對(duì)真空封裝的氣壓與品質(zhì)因數(shù)的關(guān)系進(jìn)行了研究,表明真空封裝的氣壓保持在0.1Pa左右;并對(duì)真空封裝進(jìn)行了溫度實(shí)驗(yàn)和長(zhǎng)期跟蹤,證明了真空封裝的可靠性。
【作者單位】： 清華大學(xué)精密儀器系精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 諧振加速度計(jì) 非線(xiàn)性振動(dòng) 品質(zhì)因數(shù) 真空封裝
【基金】：總裝“十二五”預(yù)研項(xiàng)目(20114113015)
【分類(lèi)號(hào)】：TH824.4
【正文快照】： 諧振器由于微尺寸效應(yīng),一般需要依靠一定的真空環(huán)境才能良好工作。這類(lèi)傳感器要實(shí)現(xiàn)更高的分辨率和更大的動(dòng)態(tài)范圍等,就需要獲得更低的阻尼及更高的品質(zhì)因數(shù)[1-2]。品質(zhì)因數(shù)反映了器件封裝內(nèi)部的真空度,其穩(wěn)定性是傳感器性能的重要影響因素[3]。美國(guó)Draper實(shí)驗(yàn)室研制的硅微諧，

本文編號(hào)：1068925