本文關(guān)鍵詞：基于新型探針的雙頻原子力顯微系統(tǒng)開發(fā)

  更多相關(guān)文章： 原子力顯微鏡 音叉探針 雙頻激勵(lì) 諧振頻率 彈性模量

【摘要】：傳統(tǒng)原子力顯微鏡(AFM)在接觸模式下工作時(shí)具有接觸力較大、易損傷樣品的缺點(diǎn).本文通過對(duì)新型自感應(yīng)音叉探針施加雙頻激勵(lì),使得AFM工作在輕敲模式下,減小了接觸力和掃描過程中的側(cè)向力影響,實(shí)現(xiàn)了樣品表面力學(xué)特性和亞表面結(jié)構(gòu)的表征.然后利用基于DSP的PI反饋控制模塊,完成了線掃描實(shí)驗(yàn),證明該雙頻原子力顯微測量系統(tǒng)具有較好的測量能力.
【作者單位】： 精密測試技術(shù)及儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(天津大學(xué));
【關(guān)鍵詞】： 原子力顯微鏡 音叉探針 雙頻激勵(lì) 諧振頻率 彈性模量
【基金】：天津市應(yīng)用基礎(chǔ)與前沿技術(shù)研究計(jì)劃重點(diǎn)資助項(xiàng)目(14JCZDJC39400)
【分類號(hào)】：TH742
【正文快照】： 近年來隨著科學(xué)技術(shù)的高速發(fā)展,觀察、測量以及操縱納米尺度的物體逐漸成為熱門研究領(lǐng)域.原子力顯微鏡(AFM)依靠探針與被測樣品之間存在的微弱原子力來檢測物質(zhì)表面形貌結(jié)構(gòu),突破了掃描隧道顯微鏡(STM)最大的技術(shù)瓶頸,實(shí)現(xiàn)了非導(dǎo)電樣品表面結(jié)構(gòu)的觀測.AFM可以獲得樣品表面微小

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