本文關鍵詞：Φ300mm平面標準鏡高精度支撐關鍵技術

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【摘要】：為保證大口徑平面面形的高精度檢測,必須對大口徑平面標準鏡自身的精度進行嚴格控制。在考慮標準鏡自身重力的作用下,通過有限元方法仿真分析了不同粘膠位置以及不同鏡框支撐方式下參考面面形的變化。根據(jù)分析結果,設計了口徑300 mm的平面標準鏡支撐方式,鏡片采用12點粘膠與鏡框固定,鏡框下表面采用旋轉補償?shù)姆绞綄ふ易顑?yōu)支撐方案。對加工完成的Φ300 mm平面標準鏡進行了集成裝配,裝配結果顯示支撐引入的參考面面形變化約為1.294 nm[均方根(RMS)值],與仿真分析結果吻合,并且滿足大口徑平面檢測的檢測需求。
【作者單位】： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所應用光學國家重點實驗室超精密光學工程研究中心;
【關鍵詞】： 光學設計 光學檢測 平面標準鏡 有限元法 參考面面形
【基金】：國家科技重大專項-02專項基金(2009ZX02205)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 1引言隨著微電子加工制造業(yè)的發(fā)展,核心器件的刻線分辨率已經(jīng)由納米級向亞納米級逼近,刻線的分辨率主要取決于光刻物鏡的光學性能。要實現(xiàn)如此高的光刻分辨率,光刻投影物鏡的光學元件面形精度要達到納米量級[1]。這些高精度的面形一般是通過菲索干涉儀進行檢測的,作為菲索干涉

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本文編號：1056560