發(fā)布時間：2017-10-17 04:20

  本文關(guān)鍵詞：基于自導(dǎo)向位移放大過程的機械式柔性納米精度移動平臺運動機制研究

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【摘要】：提出了一種納米精度級的單軸柔性移動平臺裝置。該裝置采用自導(dǎo)向位移放大機理,在緊湊結(jié)構(gòu)尺寸實現(xiàn)了高達厘米量級的行程范圍。其中,有傾角的雙模塊平行四邊形結(jié)構(gòu)在充當移動導(dǎo)向模塊的同時也實現(xiàn)了位移放大效果,從而避免了串行連接。該裝置的結(jié)構(gòu)對稱性能夠減小連帶誤差和熱變形,從而提高定位精度。通過設(shè)計優(yōu)化框架對裝置的結(jié)構(gòu)參數(shù)進行優(yōu)化,從而在保證預(yù)設(shè)行程范圍、應(yīng)力和結(jié)構(gòu)尺寸的情況下得到最大的共振頻率。并且通過對該裝置的有效性進行了實驗驗證,結(jié)果顯示,與其他相似尺寸平臺相比該裝置有更高的容積率。
【作者單位】： 內(nèi)蒙古建筑職業(yè)技術(shù)學(xué)院;東北林業(yè)大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 自導(dǎo)向 移動平臺 納米精度 位移放大
【分類號】：TH703
【正文快照】： 0引言納米定位系統(tǒng)作為一個關(guān)鍵的組成部分,應(yīng)用在包括精密機械加工,掃描探針顯微鏡,納米操控技術(shù)和光刻等在內(nèi)的諸多領(lǐng)域[1-4]。近來為適應(yīng)生產(chǎn)和方便使用,納米定位系統(tǒng)需要在維持納米級分辨率的同時還要保證能夠提供足夠大的行程范圍,例如,實際的納米操控過程可能需要足夠大

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 劉曉e，

本文編號：1046767