本文關(guān)鍵詞：雙探針原子力顯微鏡視覺對準系統(tǒng)

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【摘要】：傳統(tǒng)的原子力顯微鏡(AFM)受針尖形狀和放置方式的影響很難測量線條的寬度和兩個側(cè)壁的形狀,故本文提出采用雙探針對頂測量方案來消除AFM針尖形狀對測量結(jié)果的影響。介紹了一種基于機器視覺的雙探針原子力顯微鏡對準系統(tǒng),該系統(tǒng)將兩個探針接觸到一起,實現(xiàn)了雙探針在三維方向上的對準。系統(tǒng)采用具有亞微米級分辨率的鏡頭,配合高分辨率的CCD來獲得探針的清晰圖像,用于在水平和垂直兩個方向?qū)崟r監(jiān)控雙探針的運動情況。采用基于石英音叉式的自傳感自調(diào)節(jié)的原子力探針,無需外加光學探測系統(tǒng),縮小了系統(tǒng)體積,避免了雜散光對視覺對準系統(tǒng)的干擾。最后對針尖進行了亞像素邊緣提取,精確地獲取了探針之間的相對位置,實現(xiàn)了亞微米級的雙探針對準(1μm以內(nèi))。該結(jié)論由探針之間距離與幅度/相位曲線得到了驗證。
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學儀器科學與光電工程學院;中國計量科學研究院納米與新材料計量研究所;天津大學精密儀器與光電子工程學院;
【關(guān)鍵詞】： 原子力顯微鏡(AFM) 雙探針 尺寸測量 對準 視覺引導
【基金】：國家科學支撐計劃資助項目(No.2011BAK15B02)
【分類號】：TH742.9
【正文快照】： 1引言原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope,AFM)是掃描探針顯微鏡中的一種[1],它采用壓電陶瓷驅(qū)動器作為位移驅(qū)動元件,以近場力作為檢測對象。AFM由于可以測量導體和絕緣體表面,突破了掃描隧道顯微鏡只能測量導體的限制而得到了廣泛的應(yīng)用。另外,近場力的范圍很廣,如離子排

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 張佳心,楊寶才;火焰電子溫度的測量[J];工程熱物理學報;1992年01期

2 ;我國掃描隧道顯微技術(shù)研發(fā)取得系列重要進展[J];生命科學儀器;2007年11期

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本文編號：1044424