本文關(guān)鍵詞：氣膜結(jié)構(gòu)對(duì)長(zhǎng)光柵刻制氣浮平臺(tái)氣膜特性的影響

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【摘要】：為滿足長(zhǎng)光柵刻制氣浮平臺(tái)的設(shè)計(jì)要求,通過(guò)建立氣浮導(dǎo)軌上氣膜面的有限元模型,以承載能力、耗氣量及流場(chǎng)"死區(qū)"速度作為性能指標(biāo),分析不同的節(jié)流器和均壓槽形式對(duì)氣浮導(dǎo)軌氣膜特性的影響。結(jié)果表明:不同的導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)會(huì)造成壓力場(chǎng)特性發(fā)生變化,進(jìn)而影響氣膜承載力、死區(qū)速度及耗氣量;3×3節(jié)流器王字型均壓槽的結(jié)構(gòu)形式能有效提高承載能力,消除速度死區(qū),且耗氣量未明顯增加,該結(jié)構(gòu)能滿足長(zhǎng)光柵刻制對(duì)氣浮平臺(tái)長(zhǎng)時(shí)間工作的要求。
【作者單位】： 嶺南師范學(xué)院機(jī)電工程研究所;廣東工業(yè)大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 氣浮平臺(tái) 承載力 速度死區(qū) 耗氣量
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(50775043) 廣東省自然科學(xué)基金項(xiàng)目(S2013010013385) 嶺南師范學(xué)院校級(jí)青年基金項(xiàng)目(QL1403)
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： j縥縥縥，

本文編號(hào)：1042062