本文關(guān)鍵詞：一維相移剪切干涉儀的調(diào)制度函數(shù)分析

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【摘要】：為了分析一維相移剪切干涉儀中調(diào)制度的變化規(guī)律和影響。研究了一維光柵相移剪切干涉儀的基本原理,推導(dǎo)了干涉光強(qiáng)公式和光強(qiáng)調(diào)制度函數(shù)。通過將澤尼克單項(xiàng)像差代入到調(diào)制度函數(shù)因子,分析了澤尼克像差、剪切比對調(diào)制度函數(shù)的影響,發(fā)現(xiàn)測量范圍主要受到高級球差和大剪切比限制。設(shè)計(jì)了一維相移剪切干涉儀的可見光實(shí)驗(yàn)裝置,在632.8 nm波長分別使用周期為9 mm、18 mm一維光柵測量了一個(gè)NA=0.25顯微物鏡的波像差,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:光柵周期為18 mm時(shí)可以正確測量,光柵周期為9 mm時(shí),調(diào)制度存在反轉(zhuǎn)點(diǎn),像差超出測量范圍,并驗(yàn)證調(diào)制度函數(shù)分析結(jié)果的正確性。
【作者單位】： 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所;電子科技大學(xué)光電信息學(xué)院;中國科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 測量 相移剪切干涉儀 調(diào)制度函數(shù) 波像差
【分類號】：TH744.3
【正文快照】： 1引言波像差是評價(jià)光刻投影物鏡性能的一個(gè)重要指標(biāo),直接影響光刻機(jī)整機(jī)的分辨率、臨界尺寸、成像對比度,工藝窗口等。目前45 nm節(jié)點(diǎn)光刻投影物鏡的波像差檢測精度需要達(dá)到亞納米量級,而且要求能夠?qū)崿F(xiàn)在線檢測。相位測量干涉法具有檢測速度快、精度高、重復(fù)性好、易于集成等

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 何煦;向陽;;數(shù)字橫向剪切干涉儀相移技術(shù)[J];光學(xué)精密工程;2013年09期

2 方超;向陽;;十三步光柵橫向剪切干涉相位復(fù)原算法[J];中國激光;2014年05期

3 李杰;唐鋒;王向朝;戴鳳釗;馮鵬;;光柵橫向剪切干涉儀及其系統(tǒng)誤差分析[J];中國激光;2014年05期

【共引文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前7條

1 馮金花;胡松;李艷麗;何渝;;基于疊柵條紋相位解析的納米檢焦方法[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2015年02期

2 吳劍威;袁勇;崔繼文;劉永猛;譚久彬;;雙工件臺宏微交接系統(tǒng)設(shè)計(jì)及實(shí)驗(yàn)[J];光學(xué)精密工程;2015年06期

3 吳飛斌;唐鋒;王向朝;李杰;李永;;Ronchi相移剪切干涉儀及其相位提取誤差分析[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2015年06期

4 陳茜茜;王道檔;徐楊波;孔明;郭天太;趙軍;朱保華;;亞波長孔徑光纖點(diǎn)衍射波前質(zhì)量分析[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2015年09期

5 陳晨;劉克;李艷秋;汪海;;二維虛光柵移相莫爾條紋相位提取算法[J];中國激光;2015年02期

6 吳飛斌;唐鋒;王向朝;李杰;李思坤;;Ronchi剪切干涉光刻投影物鏡波像差檢測技術(shù)研究[J];中國激光;2015年03期

7 岳秀梅;楊甬英;凌f，

本文編號：1036595