本文關(guān)鍵詞：X-Y精密定位平臺(tái)的敏感函數(shù)逆前饋補(bǔ)償控制

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【摘要】：針對(duì)音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)的X-Y定位平臺(tái)中穩(wěn)態(tài)誤差導(dǎo)致的系統(tǒng)定位精度較低的問(wèn)題,提出了基于敏感函數(shù)逆的前饋補(bǔ)償控制方法。首先,采用頻域辨識(shí)方法建立了系統(tǒng)模型,基于終值定理推導(dǎo)出系統(tǒng)擾動(dòng)和穩(wěn)態(tài)誤差的關(guān)系,并由此設(shè)計(jì)了敏感函數(shù)的逆模型來(lái)補(bǔ)償擾動(dòng)對(duì)穩(wěn)態(tài)誤差的影響,從而提高系統(tǒng)精密定位性能。最后,在搭建的音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)X-Y定位平臺(tái)上進(jìn)行了不同運(yùn)動(dòng)行程的實(shí)驗(yàn)研究。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:在行程為10μm,最大加速度為6mm/s2的微定位運(yùn)動(dòng)條件下,補(bǔ)償后的定位誤差可由2μm降低到0.2μm;在行程為10mm,最大加速度為6m/s2的宏定位運(yùn)動(dòng)條件下,定位誤差可由2μm降低到0.4μm。實(shí)驗(yàn)結(jié)果驗(yàn)證了本方法的有效性,為后續(xù)高精密伺服系統(tǒng)的研制提供了重要參考和設(shè)計(jì)依據(jù)。
【作者單位】： 北京工業(yè)大學(xué)機(jī)械工程與應(yīng)用電子技術(shù)學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 音圈電機(jī) 精密定位平臺(tái) 敏感函數(shù) 前饋補(bǔ)償
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.61005066) 國(guó)家科技重大專項(xiàng)資助項(xiàng)目(No.2013ZX04008021)
【分類號(hào)】：TH703;TP273
【正文快照】： 1引言隨著自動(dòng)控制技術(shù)和微型計(jì)算機(jī)的迅速發(fā)展,對(duì)各類自動(dòng)控制系統(tǒng)的定位精度提出了越來(lái)越高的要求[1]。特別是在精密加工、精密測(cè)量、微電子工程等領(lǐng)域,除了要求定位平臺(tái)具備高定位精度和較大運(yùn)動(dòng)行程外,還要求其具有更高的快速響應(yīng)能力[2]。為提高運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的定位性能,有學(xué)

【參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前8條

1 黃顯林;鮑文亮;盧鴻謙;尹航;;一種具有時(shí)變觀測(cè)器增益的摩擦補(bǔ)償方法[J];電機(jī)與控制學(xué)報(bào);2011年11期

2 于偉;馬佳光;李錦英;肖靖;;基于LuGre模型實(shí)現(xiàn)精密伺服轉(zhuǎn)臺(tái)摩擦參數(shù)辨識(shí)及補(bǔ)償[J];光學(xué)精密工程;2011年11期

3 倪風(fēng)雷;劉宏;介黨陽(yáng);;基于速度觀測(cè)器的GMS摩擦模型辨識(shí)與補(bǔ)償[J];電機(jī)與控制學(xué)報(bào);2012年11期

4 胡俊峰;張憲民;;3自由度精密定位平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)特性和優(yōu)化設(shè)計(jì)[J];光學(xué)精密工程;2012年12期

5 張剛;劉品寬;張波;丁漢;;直線電機(jī)精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)軌跡跟蹤控制器設(shè)計(jì)[J];光學(xué)精密工程;2013年02期

6 王麗梅;李兵;;基于摩擦觀測(cè)器的直接驅(qū)動(dòng)XY平臺(tái)輪廓控制器設(shè)計(jì)[J];電機(jī)與控制學(xué)報(bào);2013年01期

7 向紅標(biāo);譚文斌;李醒飛;張晨陽(yáng);;基于LuGre模型的自適應(yīng)摩擦補(bǔ)償[J];機(jī)械工程學(xué)報(bào);2012年17期

8 徐智浩;李勝;張瑞雷;陳慶偉;侯保林;;基于LuGre摩擦模型的機(jī)械臂模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)控制[J];控制與決策;2014年06期

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 王福軍;芯片鍵合高速精密定位系統(tǒng)設(shè)計(jì)與控制[D];天津大學(xué);2010年

【共引文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 倪風(fēng)雷;劉宏;介黨陽(yáng);;基于速度觀測(cè)器的GMS摩擦模型辨識(shí)與補(bǔ)償[J];電機(jī)與控制學(xué)報(bào);2012年11期

2 王洪劍;蔣帆;;基于Stribeck摩擦模型的系統(tǒng)模糊滑�？刂芠J];四川兵工學(xué)報(bào);2013年07期

3 尹志生;崔洋;徐立松;李佩s，

本文編號(hào)：1015807