本文關鍵詞：基于ITO圖形短路檢測儀的精密運動平臺的設計與分析

  更多相關文章： 滾珠絲杠 滾動導軌 精密運動平臺 ITO圖形短路檢測儀

【摘要】：隨著現代制造技術的飛速發(fā)展,對精密運動平臺的精度性能要求越來越高.通過對機架結構和驅動方式的對比分析,以及對滾動導軌和滾珠絲杠的選型分析,設計出了可供使用的ITO圖形短路檢測儀精密運動平臺.重點分析了滾動導軌的位移分辨率,提出了提高工作臺位移分辨率的主要措施.對比了工作臺配磨前后的精度,并將其運用到實際的生產設備中,得出了精度的實驗數據,證明了該運動平臺的精度符合設計要求,驗證了該平臺的可實用性,對以后進行大尺寸、高精度運動平臺的研究奠定了基礎.
【作者單位】： 中北大學機械與動力工程學院;山西省深孔加工工程技術研究中心;北京清大天達光電科技有限公司;
【關鍵詞】： 滾珠絲杠 滾動導軌 精密運動平臺 ITO圖形短路檢測儀
【分類號】：TH703
【正文快照】： 3.北京清大天達光電科技有限公司,北京101204)0引言在精密機械儀器設備中,精密運動平臺系統(tǒng)是高精密零部件和高性能元器件的組合體,影響著儀器設備整體的精度和效率[1].理想的精密工作臺應滿足以下的要求:1支承高剛性運動副應少機械摩擦或無摩擦、無間隙,具有較高的驅動分辨力

【參考文獻】

中國期刊全文數據庫 前6條

1 楊國哲;王立平;郁鼎文;劉向陽;;三坐標精密運動平臺的設計[J];機床與液壓;2006年06期

2 黃歡;郁鼎文;劉向陽;;超精密運動平臺隔振系統(tǒng)性能分析與實驗研究[J];科學技術與工程;2006年01期

3 蔡莊奇;王云懋;貝天寶;吳小蘭;;直線電機直接驅動技術在精密加工中的應用[J];機械工程與自動化;2008年06期

4 林海波;楊國哲;;超精密運動平臺主動隔振系統(tǒng)動力學模型理論與實驗研究[J];組合機床與自動化加工技術;2012年02期

5 徐登峰;趙冶;;超精密運動平臺高動態(tài)性能運動部件的研究[J];制造技術與機床;2009年07期

6 張勇;精密測量導軌的運動特性分析[J];組合機床與自動化加工技術;2005年09期

【共引文獻】

中國期刊全文數據庫 前3條

1 葛曉宇;肖勇;孫靜娜;潘佩琦;;ACS控制器在超精密定位系統(tǒng)中的應用[J];信息系統(tǒng)工程;2011年11期

2 王雷;張聰;;基于小波分析的納米運動平臺振動研究[J];浙江國際海運職業(yè)技術學院學報;2010年01期

3 廖劍;錢煒;胡蒲希;;面向直線電機驅動數控銑削加工智能控制系統(tǒng)[J];微計算機信息;2012年08期

中國重要會議論文全文數據庫 前2條

1 王亞濤;包淼;范明星;;光學設備隔振平臺的隔振性能研究[A];現代振動與噪聲技術（第九卷）[C];2011年

2 韓e，

本文編號：1010248