本文關鍵詞：基于NOA73微球與SU-8微柱的微探針制作（英文）

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【摘要】：集成紫外固化膠NOA73微球與SU-8微柱制造的亞毫米探針,可以作為關鍵部件應用于三坐標測量機。NOA73微球通過NOA73對其他溶液的界面張力形成,柱子由深紫外光穿過微球曝光SU-8形成。這種新技術利用甘油補償NOA73與空氣折射率差,使得紫外光透過NOA73微球后保持接近平行。最終得到高深寬比的探針結構,高度超過1 200μm,微柱側壁與基底呈89°。
【作者單位】： 中北大學電子測試技術重點實驗室;中北大學儀器科學與動態(tài)測試教育部重點實驗室;
【關鍵詞】： 探針 坐標測量機 折射率補償 微機電系統(tǒng)
【基金】：surpported by National Science Foundation of China(61401405,51475438) Basic Research Priorities Program of Shanxi(2014011021-4) Program for New Century Excellent Talents in University(130951862)
【分類號】：TH721
【正文快照】： PACS:07.10.Cm;13.66.JnWith increasingly miniaturizing and integrating development of precision machinery,bio-engineering,chemical industry,photovoltaic systems and some other fields,a huge number of novel micro-nano structuresare emerging.The manufacturi

【共引文獻】

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4 李s，

本文編號：1009147