迄今為止,納米加工技術(shù)的進(jìn)步推動(dòng)了微納光學(xué)天線獲得進(jìn)一步的深入研究。通過光學(xué)天線可在微/納米尺度上實(shí)現(xiàn)電磁波包括雷達(dá)波和光波的快速共振性響應(yīng)和調(diào)控,為納米特征尺寸的光波感應(yīng)、操控和輸運(yùn)提供可行途徑,已顯示出廣泛的潛在應(yīng)用前景。聚焦離子束掃描電子顯微鏡系統(tǒng)（FIB-SEM）,以其束能大、加工精度和效率高、微納光學(xué)結(jié)構(gòu)的制備工藝相對(duì)簡(jiǎn)化等特征,在制作微納光學(xué)天線方面顯示獨(dú)特優(yōu)勢(shì)�？紤]到現(xiàn)有FIB-SEM系統(tǒng)的特殊物性,其有效加工尺寸目前仍徘徊在200μm×200μm范圍,已難以滿足多樣化微納光學(xué)天線的加工需求,顯著增大FIB-SEM系統(tǒng)的有效刻蝕面積變得尤為迫切和重要。本文圍繞FEI公司生產(chǎn)的Helios NanoLab G3CX雙束FIB-SEM設(shè)備建立改進(jìn)方案,面向刻蝕厘米級(jí)尺寸光學(xué)天線的聚焦離子束精密位移加工平臺(tái)開展研究工作。論文的主要工作如下:首先,針對(duì)在多種材料上刻蝕加工小尺寸微納光學(xué)天線所暴露的問題,分析FIB-SEM系統(tǒng)刻蝕加工微納光學(xué)天線其外形尺寸受限的主要原因,設(shè)計(jì)了可與該系統(tǒng)耦合的小型化精密位移加工平臺(tái)方案。通過建立永磁同步電機(jī)數(shù)學(xué)模型,分析對(duì)精密位移加工平臺(tái)采用矢量控... 

【文章來源】：華中科技大學(xué)湖北省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁(yè)數(shù)】：105 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

金屬極光天線

華 中 科 技 大 學(xué) 碩 士 學(xué) 位 論 文形發(fā)生系統(tǒng)等。電子光學(xué)系統(tǒng)主要包括電子槍、電子透鏡和電子偏轉(zhuǎn)，電子槍發(fā)射的電子束經(jīng)過電子透鏡和電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)聚焦形成納米級(jí)。真空系統(tǒng)是電子束直寫系統(tǒng)必不可少的一部分[31]。在曝光時(shí)，若腔分子，則在形成聚焦電子束的過程中，氣體分子會(huì)被電子束電離，導(dǎo)量分散，從而形成像差。工作臺(tái)通過激光干涉儀作為位置反饋，從而精確定位。對(duì)于大面積圖形曝光，高速圖形發(fā)生系統(tǒng)可以通過圖形分個(gè)圖形區(qū)域分解成多個(gè)小的區(qū)域，然后分別進(jìn)行掃描曝光。

由FEI公司FIB-SEM系統(tǒng)外型圖

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]滾珠絲杠支承端的結(jié)構(gòu)改進(jìn)設(shè)計(jì)[J]. 尚苗,何新林,孫永濤,焦林.  制造技術(shù)與機(jī)床. 2018(06)
[2]雙通道DSP+FPGA的數(shù)字信號(hào)處理系統(tǒng)研究[J]. 許智勇,李祥彬.  數(shù)字通信世界. 2018(06)
[3]高速光耦瞬態(tài)共模抑制性能的電路仿真方法[J]. 高會(huì)壯,王香芬,張芮,黃姣英.  現(xiàn)代電子技術(shù). 2018(04)
[4]使用串行外設(shè)接口協(xié)議的混沌數(shù)字加密系統(tǒng)及其dsPIC實(shí)現(xiàn)（英文）[J]. Rodrigo MéNDEZ-RAMíREZ,Adrian ARELLANO-DELGADO,César CRUZ-HERNáNDEZ,Fausto ABUNDIZ-PéREZ,Rigoberto MARTíNEZ-CLARK.  Frontiers of Information Technology & Electronic Engineering. 2018(02)
[5]基于DSP串行通信接口開發(fā)的研究[J]. 薛一哲,吳云,王昭,陳寧.  航空計(jì)算技術(shù). 2018(01)
[6]基于FPGA的增量式光電編碼器接口電路設(shè)計(jì)[J]. 孫小平.  自動(dòng)化應(yīng)用. 2017(12)
[7]晶體管微電弧電源主電路與驅(qū)動(dòng)電路設(shè)計(jì)[J]. 劉葉歸,曹彪.  電子設(shè)計(jì)工程. 2017(23)
[8]微納混合結(jié)構(gòu)黑硅的制備及其關(guān)鍵工藝技術(shù)討論[J]. 陳文,陳樂.  發(fā)光學(xué)報(bào). 2017(11)
[9]三相PWM整流技術(shù)在電動(dòng)汽車中的應(yīng)用[J]. 呂興賀,葛寶川,李永恒.  儀表技術(shù). 2017(09)
[10]DSP程序外部FLASH引導(dǎo)加載方法研究與設(shè)計(jì)[J]. 汪慶武,郇鉦,張美艷,趙錦君.  儀表技術(shù). 2017(07)



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