FDC在TFT-LCD中的應(yīng)用案例研究
發(fā)布時(shí)間:2021-07-20 00:06
針對(duì)x因子不明確的品質(zhì)不良,以TFT-LCD某產(chǎn)品不良為例,提出了FDC大數(shù)據(jù)分析方法。與實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程相結(jié)合,經(jīng)過(guò)數(shù)據(jù)收集和過(guò)濾、數(shù)據(jù)降維和主成分分析過(guò)程,找到該品質(zhì)不良的強(qiáng)相關(guān)因子。通過(guò)對(duì)強(qiáng)關(guān)聯(lián)因子進(jìn)行DOE實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì),明確關(guān)鍵因子管控線(xiàn),提高產(chǎn)品生產(chǎn)力。
【文章來(lái)源】:制造業(yè)自動(dòng)化. 2020,42(04)CSCD
【文章頁(yè)數(shù)】:4 頁(yè)
【部分圖文】:
DOE因子圖
使用FDC系統(tǒng)刷取2ITO Etch工序Q3數(shù)據(jù),共86個(gè)x因子,在JMP中打開(kāi)數(shù)據(jù)文件并插入Y不良率。首先,刪除投入數(shù)量過(guò)小的觀(guān)測(cè)行,因?yàn)橥度肓枯^小,不良發(fā)生率可能會(huì)偏高,但不代表不良高發(fā),本案例將Pane數(shù)小于20的全部剔除。采用JMP工具對(duì)數(shù)據(jù)中異常值、離群值,刪除無(wú)效因子列或強(qiáng)相關(guān)性因子列進(jìn)行過(guò)濾降噪。對(duì)單值為空的單值數(shù)據(jù),探索缺失值并以均值/中位值填充,超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)差的單值離群項(xiàng)需與生技工程師確認(rèn)后刪除,共完成242項(xiàng)數(shù)據(jù)修正;數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差大于100或小于0.01的無(wú)效單列因子逐項(xiàng)與工程師確認(rèn)后刪除,如僅在幾個(gè)值間跳動(dòng)的參數(shù)列或固定參數(shù)列,此處共刪除Tank使用時(shí)間、Tank內(nèi)藥液總添加量、Tank內(nèi)各溶質(zhì)質(zhì)量分?jǐn)?shù)占比、AP電壓等17列因子;對(duì)x因子進(jìn)行多元共線(xiàn)性分析,散點(diǎn)圖矩陣看x因子間的相關(guān)性,如圖1所示,結(jié)合工程經(jīng)驗(yàn)刪除強(qiáng)相關(guān)因子共10項(xiàng),包括同一單元的相關(guān)部件參數(shù)設(shè)定(如上氣簾壓力和下氣簾壓力,下氣簾吹向Glass背面,作用是配合上氣簾平衡壓力保證Glass順利傳送,對(duì)Etch液面無(wú)影響,故刪除下氣簾壓力因子)、不同單元的相關(guān)部件參數(shù)設(shè)定(如不同刻蝕區(qū)間溫度設(shè)定值相同,留任一參數(shù)即可)和明顯存在衍生關(guān)系的變量(AP_EXT1+AP_EXT2=固定值)。2.2 FDC數(shù)據(jù)降維和主成分分析
若要找到Y(jié)和x關(guān)系,Y(V-Line Mura Glass別不良率)要有差異,對(duì)應(yīng)x因子要有差異,從而實(shí)現(xiàn)差異化篩選。利用JMP對(duì)所有x因子進(jìn)行K均值聚類(lèi)分析[4],將聚類(lèi)數(shù)分別設(shè)置為大于等于2的整數(shù),比較不同聚類(lèi)數(shù)下的立方聚類(lèi)準(zhǔn)則CCC(Cubic Clustering Criterion),CCC越大說(shuō)明分類(lèi)越顯著。如表1所示,本案例聚類(lèi)數(shù)為3時(shí)CCC值最大,故將x因子分為3類(lèi)合理,保存聚類(lèi)。將Y(V-Line Mura Glass別不良率)進(jìn)行層次聚類(lèi)分析[5],星座圖結(jié)果如圖2所示,中心點(diǎn)處發(fā)散出三個(gè)主分支,說(shuō)明該案例將Y分為3類(lèi)合理,保存聚類(lèi)。為方便主成分分析,分別對(duì)不同的x、Y類(lèi)別設(shè)定顏色和標(biāo)記。將所有因子采用多元方法進(jìn)行主成分分析,從不同維度看x因子差異性,比較發(fā)現(xiàn),主成分1和主成分2下x因子差異性最易區(qū)分,結(jié)果如圖3所示。Y代入結(jié)果如圖4所示,可看出1群對(duì)應(yīng)x因子Y不良率低,3群對(duì)應(yīng)x因子Y不良率高,2群對(duì)應(yīng)x因子Y不良率差異較小。不同維度看Y差異性結(jié)果如圖4所示,主成分1維度下不良率高中低無(wú)法區(qū)分,主成分2維度下Y差異明顯,說(shuō)明主成分2維度可對(duì)Y和x進(jìn)行差異化篩選。特征向量查看主成分2顏色越重說(shuō)明x因子越關(guān)鍵,制成數(shù)據(jù)表Top10強(qiáng)相關(guān)因子如圖5所示,Top因子與工廠(chǎng)經(jīng)驗(yàn)結(jié)合,可知刻蝕區(qū)間斜氣簾壓力和上氣簾壓力為重點(diǎn)管控因子。
本文編號(hào):3291708
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【部分圖文】:
DOE因子圖
使用FDC系統(tǒng)刷取2ITO Etch工序Q3數(shù)據(jù),共86個(gè)x因子,在JMP中打開(kāi)數(shù)據(jù)文件并插入Y不良率。首先,刪除投入數(shù)量過(guò)小的觀(guān)測(cè)行,因?yàn)橥度肓枯^小,不良發(fā)生率可能會(huì)偏高,但不代表不良高發(fā),本案例將Pane數(shù)小于20的全部剔除。采用JMP工具對(duì)數(shù)據(jù)中異常值、離群值,刪除無(wú)效因子列或強(qiáng)相關(guān)性因子列進(jìn)行過(guò)濾降噪。對(duì)單值為空的單值數(shù)據(jù),探索缺失值并以均值/中位值填充,超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)差的單值離群項(xiàng)需與生技工程師確認(rèn)后刪除,共完成242項(xiàng)數(shù)據(jù)修正;數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差大于100或小于0.01的無(wú)效單列因子逐項(xiàng)與工程師確認(rèn)后刪除,如僅在幾個(gè)值間跳動(dòng)的參數(shù)列或固定參數(shù)列,此處共刪除Tank使用時(shí)間、Tank內(nèi)藥液總添加量、Tank內(nèi)各溶質(zhì)質(zhì)量分?jǐn)?shù)占比、AP電壓等17列因子;對(duì)x因子進(jìn)行多元共線(xiàn)性分析,散點(diǎn)圖矩陣看x因子間的相關(guān)性,如圖1所示,結(jié)合工程經(jīng)驗(yàn)刪除強(qiáng)相關(guān)因子共10項(xiàng),包括同一單元的相關(guān)部件參數(shù)設(shè)定(如上氣簾壓力和下氣簾壓力,下氣簾吹向Glass背面,作用是配合上氣簾平衡壓力保證Glass順利傳送,對(duì)Etch液面無(wú)影響,故刪除下氣簾壓力因子)、不同單元的相關(guān)部件參數(shù)設(shè)定(如不同刻蝕區(qū)間溫度設(shè)定值相同,留任一參數(shù)即可)和明顯存在衍生關(guān)系的變量(AP_EXT1+AP_EXT2=固定值)。2.2 FDC數(shù)據(jù)降維和主成分分析
若要找到Y(jié)和x關(guān)系,Y(V-Line Mura Glass別不良率)要有差異,對(duì)應(yīng)x因子要有差異,從而實(shí)現(xiàn)差異化篩選。利用JMP對(duì)所有x因子進(jìn)行K均值聚類(lèi)分析[4],將聚類(lèi)數(shù)分別設(shè)置為大于等于2的整數(shù),比較不同聚類(lèi)數(shù)下的立方聚類(lèi)準(zhǔn)則CCC(Cubic Clustering Criterion),CCC越大說(shuō)明分類(lèi)越顯著。如表1所示,本案例聚類(lèi)數(shù)為3時(shí)CCC值最大,故將x因子分為3類(lèi)合理,保存聚類(lèi)。將Y(V-Line Mura Glass別不良率)進(jìn)行層次聚類(lèi)分析[5],星座圖結(jié)果如圖2所示,中心點(diǎn)處發(fā)散出三個(gè)主分支,說(shuō)明該案例將Y分為3類(lèi)合理,保存聚類(lèi)。為方便主成分分析,分別對(duì)不同的x、Y類(lèi)別設(shè)定顏色和標(biāo)記。將所有因子采用多元方法進(jìn)行主成分分析,從不同維度看x因子差異性,比較發(fā)現(xiàn),主成分1和主成分2下x因子差異性最易區(qū)分,結(jié)果如圖3所示。Y代入結(jié)果如圖4所示,可看出1群對(duì)應(yīng)x因子Y不良率低,3群對(duì)應(yīng)x因子Y不良率高,2群對(duì)應(yīng)x因子Y不良率差異較小。不同維度看Y差異性結(jié)果如圖4所示,主成分1維度下不良率高中低無(wú)法區(qū)分,主成分2維度下Y差異明顯,說(shuō)明主成分2維度可對(duì)Y和x進(jìn)行差異化篩選。特征向量查看主成分2顏色越重說(shuō)明x因子越關(guān)鍵,制成數(shù)據(jù)表Top10強(qiáng)相關(guān)因子如圖5所示,Top因子與工廠(chǎng)經(jīng)驗(yàn)結(jié)合,可知刻蝕區(qū)間斜氣簾壓力和上氣簾壓力為重點(diǎn)管控因子。
本文編號(hào):3291708
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