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高性能半導(dǎo)體單光子探測(cè)器研究

發(fā)布時(shí)間:2020-07-19 21:59
【摘要】:量子保密通信是量子信息學(xué)科的一個(gè)重要組成部分。基于量子不可克隆定理和不確定性原理,量子保密通信提供了一種無(wú)條件安全的通信方式。在量子通信系統(tǒng)中,信息的載體是單個(gè)光子,因此在信道接收端對(duì)其進(jìn)行探測(cè)的單光子探測(cè)器成為重要的核心器件。半導(dǎo)體單光子探測(cè)器因其成本低、體積小、可靠性高等優(yōu)勢(shì)在實(shí)用化量子通信技術(shù)中發(fā)揮了重要作用。因此,高集成度、高性能半導(dǎo)體單光子探測(cè)器的設(shè)計(jì)與研發(fā)極為重要。單光子雪崩二極管和淬滅電路是半導(dǎo)體單光子探測(cè)器必不可少的兩個(gè)核心組成部分,前者的性能指標(biāo)如探測(cè)效率、暗計(jì)數(shù)等直接影響探測(cè)器的相關(guān)性能;后者決定了單光子雪崩二極管的工作模式,并將二極管產(chǎn)生的探測(cè)信號(hào)轉(zhuǎn)換為可計(jì)數(shù)的數(shù)字信號(hào)。本論文為提升InGaAs/InP雪崩光電二極管單光子探測(cè)器的性能進(jìn)行了深入研究,并開展了 InGaAs/InP單光子探測(cè)器小型化、集成化的系統(tǒng)設(shè)計(jì),以及高速高效率硅單光子探測(cè)器研究和系統(tǒng)設(shè)計(jì)工作。針對(duì)InGaAs/InP單光子雪崩二極管,通過(guò)符合門技術(shù)提取雪崩信號(hào),設(shè)計(jì)了基于低速門控模式的測(cè)試方案,搭建測(cè)試平臺(tái),基于LabVIEW儀器控制程序,實(shí)現(xiàn)對(duì)InGaAs/InP單光子雪崩二極管的性能表征,可以快速分析其各項(xiàng)參數(shù)指標(biāo)。針對(duì)實(shí)用化量子密鑰分發(fā)對(duì)探測(cè)器效率高、體積小、速率快的需求,基于低溫共燒陶瓷技術(shù),設(shè)計(jì)了適用于InGaAs/InP單光子雪崩二極管的單片集成雪崩讀出電路,并實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了其功能和可靠性;在此基礎(chǔ)上,基于該芯片與集成制冷的InGaAs/InP單光子雪崩二極管,設(shè)計(jì)了微型化正弦門控單光子探測(cè)器,并對(duì)其性能指標(biāo)進(jìn)行測(cè)試標(biāo)定,驗(yàn)證其可靠性。針對(duì)多光子糾纏實(shí)驗(yàn)對(duì)探測(cè)器高探測(cè)效率的需求,將高速正弦門控方案應(yīng)用于硅單光子雪崩二極管,研制出高速高效率門控硅單光子探測(cè)器。利用高速大幅度正弦門控信號(hào),在提升硅單光子雪崩二極管過(guò)壓的同時(shí),縮短雪崩時(shí)間,在不增大噪聲的情況下,實(shí)現(xiàn)探測(cè)效率的提升。并對(duì)探測(cè)器進(jìn)行性能測(cè)試后應(yīng)用于多光子糾纏實(shí)驗(yàn)。在本論文的研究過(guò)程中,主要有以下創(chuàng)新點(diǎn):(1)設(shè)計(jì)了適用于正弦門控方案的單片集成雪崩讀取電路,芯片尺寸為15mm×15mm,.L與現(xiàn)有的傳統(tǒng)雪崩讀出電路相比,體積縮小95%以上。(2)設(shè)計(jì)了高性能的微型化正弦門控單光子探測(cè)器,探測(cè)效率可達(dá)30%以上,同時(shí)體積僅為現(xiàn)有同類型商用探測(cè)器的5%。(3)將高速正弦門控濾波技術(shù)應(yīng)用于硅半導(dǎo)體單光子探測(cè)器,在與商用SPCM探測(cè)器相比,實(shí)現(xiàn)探測(cè)效率6%的相對(duì)提升,并在四光子糾纏實(shí)驗(yàn)中實(shí)現(xiàn)了 30%的收集效率提升。
【學(xué)位授予單位】:中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:博士
【學(xué)位授予年份】:2018
【分類號(hào)】:O413;TN918
【圖文】:

示意圖,光電倍增管,工作原理,倍增極


圖1.1光電倍增管工作原理示意圍丨251逡逑光電倍增管單光子探測(cè)器出現(xiàn)很早,被廣泛應(yīng)用于天體物理,粒子物理等領(lǐng)逡逑域。其主要工作原理為外光電效應(yīng)和二次電子發(fā)射發(fā)射機(jī)制[25]。圖1.1為光電逡逑倍增管的工作原理示意圖。光陰極、聚焦極、多個(gè)倍增極和收集陽(yáng)極等特殊電極逡逑被裝入透明真空的殼體內(nèi)。工作時(shí),光陰極和第一倍增極之間、相鄰各級(jí)倍增極逡逑之間以及最后一極倍增極和陽(yáng)極之間加有依次升高的正向電壓,從玻璃窗入射的逡逑光子能量大于光陰極中電子的逸出功時(shí),光陰極向真空管內(nèi)發(fā)射光電子,光電子逡逑通過(guò)聚焦極匯聚,在電場(chǎng)作用下向第一倍增極運(yùn)動(dòng),并在第一倍增極表面激發(fā)出逡逑二次電子,這些電子再次在電場(chǎng)的作用下向下一級(jí)倍增極運(yùn)動(dòng),再次激發(fā)出更多逡逑的二次電子,光電子在各個(gè)倍增極成倍的激發(fā)出二次電子,最后在陽(yáng)極被吸收,逡逑形成可探測(cè)的宏觀電流,最終增益為I04?108倍。光電倍增管的光譜響應(yīng)由光陰逡逑極和光窗的材料決定,F(xiàn)有光陰極材料主要有Cs-I、Sb-Cs、GaAsP等材料

示意圖,工作原理,示意圖,倍增極


邐(DYNODES)逡逑\邋PHOTOCATHODE逡逑圖1.1光電倍增管工作原理示意圍丨251逡逑光電倍增管單光子探測(cè)器出現(xiàn)很早,被廣泛應(yīng)用于天體物理,粒子物理等領(lǐng)逡逑域。其主要工作原理為外光電效應(yīng)和二次電子發(fā)射發(fā)射機(jī)制[25]。圖1.1為光電逡逑倍增管的工作原理示意圖。光陰極、聚焦極、多個(gè)倍增極和收集陽(yáng)極等特殊電極逡逑被裝入透明真空的殼體內(nèi)。工作時(shí),光陰極和第一倍增極之間、相鄰各級(jí)倍增極逡逑之間以及最后一極倍增極和陽(yáng)極之間加有依次升高的正向電壓,從玻璃窗入射的逡逑光子能量大于光陰極中電子的逸出功時(shí),光陰極向真空管內(nèi)發(fā)射光電子,光電子逡逑通過(guò)聚焦極匯聚,在電場(chǎng)作用下向第一倍增極運(yùn)動(dòng),并在第一倍增極表面激發(fā)出逡逑二次電子,這些電子再次在電場(chǎng)的作用下向下一級(jí)倍增極運(yùn)動(dòng),再次激發(fā)出更多逡逑的二次電子,光電子在各個(gè)倍增極成倍的激發(fā)出二次電子,最后在陽(yáng)極被吸收,逡逑形成可探測(cè)的宏觀電流

主要結(jié)構(gòu),探測(cè)效率


2.1.1硅單光子雪崩二極管逡逑硅SPAD的發(fā)展非常成熟。它的光譜響應(yīng)范圍在400邋nm到1000邋nm之間。逡逑硅SPAD的結(jié)構(gòu)主要有三種,如圖2.1所示。逡逑100-200邋pm逡逑10-100邋um逡逑H23邐e邐c5S邐hv-j邐^逡逑U,-邐fa邋r逡逑圖2.1硅SPAD主要結(jié)構(gòu)逡逑最左側(cè)為“貫穿”型(Reach邋through)結(jié)構(gòu)[39],是由Perkin邋Elmer公司開逡逑發(fā),主要有以下特點(diǎn):(1)邋PN結(jié)厚度較大,通常為幾十,又被稱為“厚結(jié)”逡逑結(jié)構(gòu);(2)由于PN結(jié)較厚,這種結(jié)構(gòu)的器件雪崩擊穿電壓較高,一般從200邋V逡逑到500邋V不等;(3)其感光區(qū)域也比較大,直徑在100pm至500邋pm之間;(4)逡逑探測(cè)效率相與高,在540邋nm到850邋nm波段探測(cè)效率均可達(dá)50%以上,最高探逡逑測(cè)效率在70%以上;(5)暗計(jì)數(shù)較低,最小在幾十個(gè)左右;(6)在光子到達(dá)的時(shí)逡逑7逡逑

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9 任e

本文編號(hào):2763023


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