本文選題：同質(zhì)集成　切入點：InGaN/GaN多量子阱二極管　出處：《南京郵電大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版)》2017年03期

【摘要】：文中設(shè)計、制備并表征了同質(zhì)集成的可見光雙工通信芯片。采用硅襯底剝離和懸空氮化物薄膜背后減薄技術(shù),在硅襯底GaN晶圓上制備了同質(zhì)集成懸空p-n結(jié)InGaN/GaN多量子阱二極管(Multiple-Quantum-Well Diode,MQW-diode)和懸空波導(dǎo)的光子芯片。利用懸空p-n結(jié)InGaN/GaN MQW-diode可以同時發(fā)光和光探測的物理特性,將兩個InGaN/GaN MQW-diode同時作為收發(fā)端,發(fā)出的調(diào)制光耦合進懸空光波導(dǎo)進行傳輸,并最后被另一個收發(fā)端接收,疊加信號可以通過自干擾消除法進行提取處理,實現(xiàn)芯片內(nèi)可見光雙工通信。這種同質(zhì)集成光源、光波導(dǎo)和光電探測器的可見光通信芯片為發(fā)展高速同頻同時全雙工可見光通信芯片奠定了器件基礎(chǔ)。
[Abstract]:A homogeneous integrated visible light duplex communication chip is designed, fabricated and characterized in this paper.Photonic chips of homomorphic integrated suspended p-n junction InGaN/GaN multiple quantum well diodes (MQW-diodes) and suspended waveguides have been fabricated on silicon substrate GaN wafer by silicon substrate stripping and thinning techniques.Based on the physical characteristics of the suspended p-n junction InGaN/GaN MQW-diode which can simultaneously emit light and detect light, two InGaN/GaN MQW-diode are used as the transceiver at the same time, and the modulated light is coupled to the suspended optical waveguide for transmission. Finally, the modulation light is received by another transceiver.The superposition signal can be extracted and processed by the self-interference elimination method to realize the visible light duplex communication in the chip.This kind of homogeneous integrated light source, optical waveguide and photodetector visible-light communication chip has laid the device foundation for the development of high-speed co-frequency and full-duplex visible light communication chip.
【作者單位】： 南京郵電大學(xué)Peter
【基金】：國家自然科學(xué)基金國際(地區(qū))合作與交流(61531166004)資助項目
【分類號】：TN929.1

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本文編號：1719060