本文關(guān)鍵詞：工藝路線對TFT工廠能源消耗的影響

  更多相關(guān)文章： TFT LTPS IGZO AMOLED 綜合能耗 單位產(chǎn)品能耗

【摘要】：為了在TFT工廠的設(shè)計、建設(shè)及運營階段采取有針對性的節(jié)能降耗措施,有效降低器件制備過程中的能耗,本文根據(jù)我院多年從事TFT生產(chǎn)線節(jié)能評估工作的經(jīng)驗數(shù)據(jù),針對不同技術(shù)路線,選取具有代表性的TFT-LCD及AMOLED生產(chǎn)線,并對其能耗進行對比分析,以討論不同技術(shù)路線對TFT-LCD及AMOLED顯示器件生產(chǎn)能耗的影響。分析結(jié)果表明:陣列制備是最主要用能工序,其制備復(fù)雜程度可采用光罩次數(shù)(Mask)表征。隨著光罩次數(shù)的增加,器件制造對電力、氮氣、新鮮水等能源及耗能工質(zhì)的需求呈急劇增長:采用10-13Mask技術(shù)的LTPS及AMOLED顯示器件,其綜合能耗達到a-Si及Oxide技術(shù)路線的約350%之多;在不同技術(shù)路線下,電力均為最主要的用能需求,其消耗量占總能耗的80%~87%。能耗的增加導(dǎo)致用能成本的大幅上升。在國家大力提倡綠色經(jīng)濟的環(huán)境下,建議各大廠商采取科學(xué)有效的能耗管控措施,以降低能源消耗及用能成本,實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)的健康可持續(xù)發(fā)展。
【作者單位】： 中國電子工程設(shè)計院工藝所;
【關(guān)鍵詞】： TFT LTPS IGZO AMOLED 綜合能耗 單位產(chǎn)品能耗
【分類號】：TN873
【正文快照】： 1 引言 平板顯示被譽為信息社會的“窗口”,是信息社會發(fā)展的重要支撐。在諸多平板顯示技術(shù)中,TFT顯示器件由于其輕薄、亮麗、響應(yīng)速度快等優(yōu)越特性,成為當(dāng)今社會應(yīng)用最為廣泛的平板顯示技術(shù)。在國家政策的大力支持下,我國TFT產(chǎn)業(yè)取得了長足進展。在產(chǎn)能擴充的同時,我國TFT產(chǎn)

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