針對太赫茲譜成像對寬光譜、高光能利用率、實(shí)時探測分光器件的需求,提出了一種太赫茲立體相位光柵(MPMG)分光器件。MPMG通過刻槽深度的變化引入光程差,實(shí)現(xiàn)對入射光的相位調(diào)制,從而使反射太赫茲波前的不同區(qū)域具有不同的相位信息,其零級衍射光具備分光能力。在分析MPMG衍射場光強(qiáng)分布的基礎(chǔ)上,討論了光柵參數(shù)對衍射場分布的影響,并通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了MPMG的衍射特性。結(jié)果表明,MPMG各光柵單元在0.5 THz、0.34 THz的衍射效率理論值與實(shí)測值相吻合,證明了MPMG的零級衍射光具備分光能力。

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