半導(dǎo)體芯石英包層光纖同時具有光學(xué)特性和電學(xué)特性,故在光電集成器件、紅外器件以及光纖傳感等領(lǐng)域中均具有十分重要的應(yīng)用前景,尤其是多芯半導(dǎo)體石英包層光纖可以將不同功能特性的半導(dǎo)體材料集成在同一根光纖之中,可進一步提高光電集成器件的一體化程度�；诖蚩捉M裝與半導(dǎo)體蒸氣分區(qū)域處理等工藝,制備出了具有較高幾何精度的硅-鍺雙芯石英包層半導(dǎo)體光纖,其包層不圓度為0.9%,硅-纖芯的不圓度為1.5%,鍺-纖芯的不圓度為1.4%。

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【文章目錄】：
0 引言
1 制備工藝
2 測試分析
3 結(jié)論



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