本文對(duì)玻璃晶圓加工過程中常見的三種缺陷類型——顆粒缺陷、氣泡缺陷、三角形劃痕的散射光強(qiáng)進(jìn)行分析,發(fā)現(xiàn)不同缺陷結(jié)構(gòu)在空間中有不同的散射光強(qiáng)分布特點(diǎn),可以建立缺陷結(jié)構(gòu)與散射光強(qiáng)空間分布的對(duì)應(yīng)關(guān)系;同時(shí)針對(duì)產(chǎn)線中晶圓表面微米量級(jí)缺陷,進(jìn)行了不同尺寸顆粒缺陷的散射光強(qiáng)度計(jì)算,得出了微米級(jí)別缺陷尺寸與散射光強(qiáng)度之間的關(guān)系曲線。從而提出一種非成像缺陷檢測(cè)方法:檢測(cè)獲取缺陷散射光強(qiáng)值與空間分布,利用散射光空間分布結(jié)構(gòu)確定缺陷結(jié)構(gòu)以及利用散射光強(qiáng)計(jì)算缺陷尺寸,從而間接確定缺陷信息,達(dá)到缺陷檢測(cè)的目的。為晶圓產(chǎn)業(yè)應(yīng)用過程中的缺陷快速檢測(cè)提供方法參考。 

【文章頁數(shù)】：6 頁

【文章目錄】：
1 引言
2 缺陷外形結(jié)構(gòu)與散射光空間分布
3 缺陷尺寸與散射光強(qiáng)
4 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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博士論文
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碩士論文
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[2]IC晶圓表面缺陷檢測(cè)技術(shù)研究[D]. 馬磊.電子科技大學(xué) 2015



本文編號(hào)：3651920