為了實(shí)現(xiàn)干涉儀出射準(zhǔn)直波前的重構(gòu),提出了基于波長(zhǎng)調(diào)諧移相的橫向剪切干涉技術(shù)。干涉儀出射波前分別經(jīng)楔板的前后表面反射,通過(guò)角錐棱鏡返回后在干涉儀CCD上形成剪切干涉條紋。采用波長(zhǎng)移相方法提取剪切干涉條紋的相位信息從而實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)直波前重構(gòu)。分析相對(duì)剪切比對(duì)波面重構(gòu)精度的影響,推導(dǎo)相對(duì)剪切比和其影響因素間的關(guān)系公式,給出波長(zhǎng)移相中光程差常數(shù)分量的估算方法。測(cè)量干涉儀的三組出射波前,波前的峰谷值分別為3.22λ、2.10λ、0.83λ。該方法簡(jiǎn)化了傳統(tǒng)測(cè)量干涉儀準(zhǔn)直波前的橫向剪切干涉裝置,提高了測(cè)量精度,特別適合于測(cè)量波長(zhǎng)移相干涉儀的出射波前。 

【文章來(lái)源】：應(yīng)用光學(xué). 2020,41(01)北大核心

【文章頁(yè)數(shù)】：7 頁(yè)


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