【摘要】：光學市場正處在蓬勃發(fā)展期,光學元件在我們生活和生產中的應用變得日益廣泛,不僅用于光學工程領域,也被廣泛地應用于微電子技術、通訊、宇航工程等各種不同的領域。光學元件的制造與檢測密不可分,在眾多檢測方法中,干涉法檢測光學元件參數(shù)和質量具有精度高、非接觸及操作便捷等優(yōu)點,被廣泛應用于快速測量及高精度檢測中。本文利用白光相干長度短的特點,結合邁克耳孫干涉儀的使用,對薄玻璃厚度一致性進行了檢測研究,實驗中只在干涉儀的單一光路同時插入材料相同的兩薄玻璃片,對比白光通過兩薄玻璃片產生的干涉圖樣,判斷其厚度是否一致,對相差較大的進一步測出厚度差值,檢測方法方便快捷且精度得到提高�；诠飧缮胬碚�,對應用計算全息圖(CGH)檢測凹非球面的方法進行了改進研究,將計算全息圖與傳統(tǒng)光學補償鏡相結合來對凹非球面進行檢測,簡化了補償系統(tǒng)的結構。借助光學設計軟件Zemax,給出了設計實例及相應結果,相比傳統(tǒng)的補償系統(tǒng),這種只需要一個帶有全息圖的補償鏡即可實現(xiàn)對凹非球面的檢測,在保證高精度測量的同時降低了檢測成本,縮短了檢測周期。對薄玻璃厚度一致性的檢測和大口徑非球面面形的檢測都是基于光干涉原理,通過比較干涉結果實現(xiàn)對光學元件質量的評定。經過與其他實驗方法作對比,可以看到利用光干涉法檢測薄玻璃厚度一致性和非球面面形不僅達到了高精度、非接觸的檢測效果,而且優(yōu)化了檢測系統(tǒng)結構,節(jié)約了檢測時間和相關費用。
【學位授予單位】：東北師范大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2018
【分類號】：O436.1
【圖文】：

圖 1.1 分波前干涉裝置圖波前干涉的典型裝置—楊氏雙縫干涉，其中 S1和 S2作為的，具有相同的相位和頻率且振動方向一致，滿足相干干涉即可得到干涉圖樣。假定光源 S1、S2在觀察點 P 相為，= cos + = cos += cos + = cos +零，相位差有，)22211Δ =（n r nrλπ 2211ΔL =nr nr

πλπ()（2 1）221r r=j+2(21)21λΔL =r r=j+xjπ='決定，即 =λdDxj'j，暗紋中心位置為 x…等。雙縫干涉如果兩光源強度不相等，對干涉光的透過率不同，則干涉條紋的對比度會下降射和透射分離出兩束相干光，從而將入射光振形式有兩種，分別是等傾干涉和等厚干涉。不，同一傾角的光會形成同一條干涉條紋，不同，這種干涉為等傾干涉，其示意圖如圖 1.2 所

2cos2ihAB + BC=121AD = ACsin i=2htanisini212122δ =2 h n nsini22sin212122λδ = h n ni±涉的入射角相同時，對應的光程差相等，此時為樣是明暗相間的同心圓環(huán)。

【參考文獻】

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本文編號：2745002