【摘要】：針對微弱太赫茲激光功率的測試需求,本文研究一種可以提高太赫茲探測器響應度的方法。采用反射式太赫茲時域光譜分析儀測試太赫茲激光吸收材料的吸收率,選擇吸收率高的材料作為太赫茲激光的吸收材料;使用直流磁控濺射技術在太赫茲激光吸收材料底部均勻的鍍上一層金薄膜;利用具有高導熱率和高粘接強度的固化液體硅膠把太赫茲激光吸收材料與熱電堆的熱端粘接在一起,并把熱電堆的冷端與熱沉緊密粘貼。理論分析和實驗結果表明此方法有效提高了熱電堆的熱電轉換率和吸收材料對太赫茲激光的吸收率,從而使太赫茲探測器的響應度提升了7.9%。因此,本文研制的太赫茲探測器在0.1 THz~10 THz范圍內,能夠實現微瓦量級太赫茲激光功率的測試。
[Abstract]:According to the test requirement of weak terahertz laser power, this paper studies a method that can improve the responsivity of terahertz detector. The absorptivity of terahertz laser absorbing material was measured by reflective THz time domain spectrometer, and the material with high absorptivity was selected as the absorbing material of terahertz laser. Using DC magnetron sputtering technique, a thin film of gold was uniformly deposited on the bottom of the terahertz laser absorption material, and a solidified liquid silica gel with high thermal conductivity and high bonding strength was used to bond the terahertz laser absorption material to the hot end of the thermoelectric reactor. The cold end of the thermoelectric reactor is tightly bonded with the heat sink. The theoretical analysis and experimental results show that this method can effectively improve the thermoelectric conversion rate of thermoelectric stack and the absorption rate of absorbing materials to terahertz laser, thus increasing the responsivity of the terahertz detector by 7.9%. Therefore, the terahertz detector developed in this paper can be used to measure the microwatt terahertz laser power in the range of 0. 1 THz~10 THz.
【作者單位】： 中國電子科技集團公司第四十一研究所電子測試技術重點實驗室;
【分類號】：O441.4

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本文編號：2171902