本文選題：測(cè)量 + 缺陷深度位置檢測(cè)��； 參考：《中國激光》2017年06期

【摘要】：為有效檢測(cè)光學(xué)元件體內(nèi)的缺陷情況,利用全內(nèi)反射技術(shù),讓激光束在光學(xué)元件內(nèi)部多次全內(nèi)反射后獲得缺陷的散射光斑圖像,結(jié)合基于最小二乘法的橢圓擬合等方法對(duì)散射圖像進(jìn)行處理,得到缺陷的三維位置信息。對(duì)該方法進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,掃描采集35幅圖像即可完成對(duì)尺寸為150mm×120mm×20mm的大口徑光學(xué)元件的全部缺陷檢測(cè),待測(cè)樣品缺陷點(diǎn)的深度位置定位精度優(yōu)于150μm,說明該方法可以有效檢測(cè)大口徑光學(xué)元件缺陷點(diǎn)。針對(duì)可能影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果的誤差來源和限制系統(tǒng)分辨率的因素進(jìn)行了分析,結(jié)果表明提高成像系統(tǒng)橫向分辨率或減小激光束橫截面寬度均可有效地提高系統(tǒng)的分辨率。
[Abstract]:In order to effectively detect the defects in the optical element, the total internal reflection technology is used to make the laser beam to get the scattered spot image of the defect after the internal reflection of the optical element, and the scattered image is processed by the method of ellipse fitting based on the least square method, and the three-dimensional position information of the defect is obtained. The experimental results show that the total defect detection for large aperture optical elements with a size of 150mm x 120mm x 20mm can be detected by scanning 35 images. The precision of the depth position positioning of the defect points to be measured is better than 150 mu m, indicating that the method can effectively detect the defect points of large aperture optical elements. The source of error and the factors that restrict the resolution of the system are analyzed. The results show that the resolution of the system can be improved effectively by improving the lateral resolution of the imaging system or reducing the width of the laser beam cross section.

【作者單位】： 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所高功率激光物理重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國科學(xué)院大學(xué);
【分類號(hào)】：O435.2

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1888665