本文關(guān)鍵詞：新型鋁基共面微腔等離子體陣列在氖氣中放電的光特性研究　出處：《真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)》2017年04期 　論文類(lèi)型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 共面微腔等離子體陣列 光強(qiáng)分布 放電演變 波動(dòng)傳播

【摘要】：在厚度為100μm的鋁基底上,制作了一種由隙縫相連的六邊形共面微腔陣列,研究了方波驅(qū)動(dòng)下,該微腔陣列在氖氣中的放電發(fā)光分布與氣壓的關(guān)系,光譜分布及放電的演變過(guò)程。結(jié)果表明:這種隙縫相連的六邊形共面微腔陣列放電時(shí),隨氣壓的升高,發(fā)光光強(qiáng)分布從腔體中心位置逐步向腔體側(cè)壁移動(dòng),其發(fā)光光譜為588 nm的可見(jiàn)光和312 nm的紫外光。增強(qiáng)電荷耦合器件拍攝的陣列放電瞬時(shí)狀態(tài)表明,在一個(gè)方波驅(qū)動(dòng)周期的兩次放電中,共面微腔等離子體陣列放電演變呈現(xiàn)出等離子波動(dòng)傳播的現(xiàn)象,且這兩次傳播方向相反,傳播速度均為10~15 km/s。
[Abstract]:The thickness of aluminum substrate 100 m, fabricated by slot connected hexagonal coplanar micro cavity array, the square wave drive, the micro cavity array discharge in neon light emission in distribution and pressure, the evolution of spectral distribution and discharge. The results show that the connected hexagonal slot coplanar discharge micro cavity array, with the increasing of gas pressure, light intensity distribution from the cavity center position gradually to the side wall of the cavity of the mobile, the emission spectrum of UV visible light for 588 nm and 312 nm. The enhanced CCD array shooting discharge transient state shows that the two discharge in a square wave driving cycle in the coplanar microcavity plasma discharge array evolution shows plasma wave propagation phenomenon, and the two spread in the opposite direction, the propagation velocity was 10~15 km/s.

【作者單位】： 西安交通大學(xué)電子物理與器件教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(No.61372018)
【分類(lèi)號(hào)】：O461;O53
【正文快照】： 微腔等離子體放電是將工作氣體限制在微米級(jí)的空間中來(lái)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定氣體放電過(guò)程,產(chǎn)生非平衡低溫等離子體,微腔等離子體放電空間尺寸小,可在高氣壓下實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的放電,具備獨(dú)特的放電特性,如弱電離化,活性粒子多,離子密度高等特點(diǎn)[1]。因此,等離子體的應(yīng)用領(lǐng)域也非常廣泛,可充當(dāng)紫外

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