本文關(guān)鍵詞：基于微流控技術(shù)的高效液相脈沖激光燒蝕法　出處：《中國(guó)激光》2017年04期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：液相脈沖激光燒蝕法(PLAL)具有綠色環(huán)保、適用范圍廣及可制備復(fù)合材料等優(yōu)點(diǎn),受到學(xué)術(shù)界的廣泛關(guān)注,但是較低的制備效率限制了它進(jìn)一步發(fā)展。將微流控技術(shù)與液相脈沖激光燒蝕法相結(jié)合,在硅基微流控芯片中實(shí)現(xiàn)了快速高效制備晶格型(400~800nm)和球型(100~300nm)硅納米結(jié)構(gòu)。通過(guò)掃描電子顯微鏡和光譜儀對(duì)其形貌結(jié)構(gòu)及分布情況進(jìn)行了測(cè)試表征,獲得了微流控流速、激光燒蝕功率與納米粒子制備效率之間的關(guān)系。該方法將液相脈沖激光燒蝕法的最高制備效率提高了30%以上,達(dá)到87.5mg/min,為將來(lái)液相脈沖激光燒蝕法工業(yè)化生產(chǎn)提供一種新的技術(shù)路線。
[Abstract]:Liquid pulse laser ablation (PLAL) has been widely concerned by academia for its advantages of environmental protection, wide application and preparation of composite materials. However, the low preparation efficiency limits its further development. The microfluidic technology is combined with the liquid pulse laser ablation method. The rapid and efficient fabrication of lattice type (400nm) and spherical type (100nm) in silicon-based microfluidic chips have been achieved. The morphology and distribution of silicon nanostructures were characterized by scanning electron microscopy (SEM) and spectrometer. The relationship between the microfluidic flow rate, laser ablation power and the preparation efficiency of nanocrystalline particles was obtained. The maximum preparation efficiency of the liquid pulse laser ablation method was increased by more than 30%. It can reach 87.5 mg / min, which provides a new technical route for industrial production of liquid pulse laser ablation in the future.
【作者單位】： 吉林大學(xué)集成光電子學(xué)國(guó)家重點(diǎn)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室吉林大學(xué)實(shí)驗(yàn)區(qū);西安交通大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(91423102,91323301,61605055,21473076)
【分類號(hào)】：TN249
【正文快照】： 1引言 液相脈沖激光燒蝕法(PLAL)是一種綠色、簡(jiǎn)單的制備微納米粒子的方法[1]。該方法利用脈沖激光對(duì)浸沒(méi)在液體中的靶樣品進(jìn)行燒蝕,直接在液相環(huán)境中制備出微納米粒子。它有著以下優(yōu)點(diǎn):一是可以使用水、乙醇等常見(jiàn)無(wú)毒的溶液作為反應(yīng)環(huán)境和介質(zhì);二是極端局部環(huán)境可以允許各

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本文編號(hào)：1358316