本文關(guān)鍵詞：飛秒激光制備多晶金剛石微結(jié)構(gòu)陣列　出處：《中國(guó)激光》2017年03期 　論文類(lèi)型：期刊論文

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【摘要】：飛秒激光加工是一種冷加工技術(shù),能克服熱效應(yīng)的影響,使加工材料的邊緣非常整齊和精確,對(duì)高熔點(diǎn)和硬脆材料的微細(xì)加工具有顯著優(yōu)勢(shì)。為制備一種由金屬靶和金剛石構(gòu)成的X射線源微結(jié)構(gòu)陣列陽(yáng)極,提出采用飛秒激光加工技術(shù)加工金剛石微結(jié)構(gòu)陣列,通過(guò)實(shí)驗(yàn)研究了飛秒脈沖激光加工多晶金剛石材料的工藝參量,重點(diǎn)分析了激光聚焦物鏡、激光脈沖能量、重復(fù)掃描次數(shù)對(duì)金剛石微結(jié)構(gòu)形貌和尺寸的影響,得到了符合制作要求的加工參量,并依據(jù)加工參量制作出了槽寬為20μm,槽深達(dá)45μm的高質(zhì)量多晶金剛石微結(jié)構(gòu)陣列,測(cè)得其表面可承受電子束轟擊的最大功率密度為12 W/mm~2。該陣列將可用于制備微陣列陽(yáng)極X射線源,為實(shí)現(xiàn)X射線大視場(chǎng)相襯成像提供關(guān)鍵的光源器件。
[Abstract]:......
【作者單位】： 深圳大學(xué)光電工程學(xué)院光電子器件與系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室廣東省光電子器件與系統(tǒng)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;深圳大學(xué)信息工程學(xué)院;
【基金】：國(guó)家重大科研儀器設(shè)備研制專(zhuān)項(xiàng)(61227802) 國(guó)家自然科學(xué)基金青年基金(61605119) 中國(guó)博士后面上基金(2016M592529) 中央財(cái)政支持地方高校發(fā)展基金(000022070142)
【分類(lèi)號(hào)】：TN249
【正文快照】： 0302007-1自倫琴發(fā)現(xiàn)X射線以來(lái),X射線成像技術(shù)便被廣泛地應(yīng)用于探測(cè)物質(zhì)內(nèi)部結(jié)構(gòu)。相較傳統(tǒng)的吸收成像,X射線相襯成像對(duì)輕元素組成的生物軟組織樣品或聚合物等物體的密度變化分辨率要高三個(gè)數(shù)量級(jí)以上,具有明顯的優(yōu)勢(shì)[1]。輕元素組成的物質(zhì)種類(lèi)很多,包括碳纖維、硅、有機(jī)材料

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5 魯欣;張U，

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