本文關(guān)鍵詞：SOI納米光波導(dǎo)激光熔凝光整加工溫度場的數(shù)值模擬及分析　出處：《強激光與粒子束》2017年10期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：激光表面熔凝技術(shù)可有效降低納米光波導(dǎo)側(cè)壁粗糙度進而減小光傳輸?shù)纳⑸鋼p耗。為明確波導(dǎo)側(cè)壁在KrF準(zhǔn)分子激光表面熔凝過程的溫度場演化規(guī)律,考慮材料參數(shù)隨溫度變化和相變潛熱的影響,建立了納米光波導(dǎo)側(cè)壁激光熔凝的二維有限元數(shù)值模型,研究了熔池邊界的推進行為與不同工藝參數(shù)的映射關(guān)系。結(jié)果表明:熔池形成于波導(dǎo)上表面與迎光側(cè)壁夾角處;激光入射角度一定時,熔池熔深與平均能量密度正相關(guān);熔池形貌受控于激光入射角度,隨著入射角度的減小,熔池形貌由單邊U形過渡為單邊V形最終呈帶鈍角單邊V形。分析表明,較大激光入射角對應(yīng)的熔池形貌更有利于波導(dǎo)側(cè)壁的光整加工;據(jù)此提出先確定激光入射角度以優(yōu)化熔池形貌,再選取合適平均能量密度以獲得足夠熔化深度的工藝方法。
[Abstract]:......
【作者單位】： 中北大學(xué)儀器科學(xué)與動態(tài)測試教育部重點實驗室;中北大學(xué)機電工程學(xué)院;中國人民武裝警察部隊指揮學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(61675185,61275166) 山西省自然科學(xué)基金項目(2016D01011008) 山西省高等院校中青年拔尖創(chuàng)新人才 山西省高�！�131”領(lǐng)軍人才 山西省留學(xué)歸國擇優(yōu)基金項目 中北大學(xué)杰出青年基金項目 山西省研究生教育創(chuàng)新基金項目(2016SY048)
【分類號】：TN252
【正文快照】： 基于絕緣體上硅(SOI)材料的納米光波導(dǎo)是在微系統(tǒng)集成制造技術(shù)與大規(guī)模、高集成度光電器件系統(tǒng)的發(fā)展下應(yīng)運而生的新型波導(dǎo)[1-2],其基于SOI材料Si波導(dǎo)層與SiO2限制層大折射率差下較強的局域光場作用和標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝完全兼容的優(yōu)點,在光源[3]、光量子計算[4]、光生化傳感[5]等領(lǐng)

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10 趙輝;耦合諧振腔光波導(dǎo)的理論研究[D];北京化工大學(xué);2009年

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本文編號：1352473