本文關(guān)鍵詞：大氣壓He-Ar射頻容性放電Ar亞穩(wěn)態(tài)粒子數(shù)密度　出處：《強(qiáng)激光與粒子束》2017年05期 　論文類(lèi)型：期刊論文

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【摘要】：利用發(fā)射光譜法測(cè)量大氣壓He-Ar混合氣體射頻容性放電中的Ar亞穩(wěn)態(tài)1s5(3s23p54s[3/2]2)粒子數(shù)密度。在不同的放電功率和氣體組分下測(cè)量放電等離子體中的重要參數(shù):氣體轉(zhuǎn)動(dòng)溫度、電子激發(fā)溫度和Ar亞穩(wěn)態(tài)1s5粒子數(shù)密度。結(jié)果表明:氣體溫度在不同放電功率及Ar氣壓在5×10~3 Pa以內(nèi)時(shí)變化不大,范圍為300~350K;電子激發(fā)溫度隨著放電功率的增加而增加,并且在Ar氣壓為4×103 Pa時(shí)最大,在放電功率為70 W時(shí)達(dá)到0.58eV;1s5粒子數(shù)密度隨著放電功率以及電子激發(fā)溫度的增加而增加,在放電功率為70 W、Ar氣壓為4×10~3 Pa時(shí)達(dá)到1.53×10~9 cm~(-3)。
【作者單位】： 華中科技大學(xué)武漢光電國(guó)家實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：武漢光電國(guó)家實(shí)驗(yàn)室自主創(chuàng)新基金項(xiàng)目(0214187070)
【分類(lèi)號(hào)】：O461.2
【正文快照】： 光泵浦堿金屬蒸氣激光器以其發(fā)射近紅外光、光束質(zhì)量高、量子效率高、有可能擴(kuò)展到高功率激光等優(yōu)點(diǎn),近年來(lái)得到了研究者的重視。不過(guò)由于堿金屬蒸氣過(guò)于活躍,激發(fā)態(tài)的堿金屬蒸氣會(huì)與碳?xì)浠衔锞徛磻?yīng),消耗堿金屬蒸氣,而且會(huì)污染氣體池窗口,因此研究其他工作氣體成為該類(lèi)激

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1 李建;王坤;王世慶;柳建;徐靈飛;孫乃峰;;He-Ar潘寧過(guò)程對(duì)表面波等離子體柱功率的影響[J];真空;2011年05期

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本文編號(hào)：1325905