本文關鍵詞：基于流體模型的波干涉電子密度診斷方法與應用　出處：《真空科學與技術學報》2017年08期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：提出了一種新的基于流體模型的波干涉電子密度(ne)診斷方法,在高/低氣壓條件下分別開展了閉式石英腔體內的氬氣感應耦合等離子體放電實驗,利用該方法得到了其不同功率下軸向ne空間分布規(guī)律,在氣壓為1.33 Pa、功率為600 W時,ne峰值在軸向中心,而氣壓為133.32 Pa、600 W時,ne峰值偏離軸向中心向線圈側轉移,ne為10-17/m~3數量級且按梯度分布。將該方法分別與單純流體模型下的數值模擬和朗繆爾探針診斷結果對比,發(fā)現該方法克服了流體模型的誤差,保留了微波干涉診斷法的高準確性特點,彌補了微波干涉法的空間分辨率不足的缺點。
【作者單位】： 空軍工程大學等離子體動力學國家重點實驗室;
【基金】：國家自然科學基金項目:等離子體環(huán)量控制對翼型起動特性的作用機理和影響研究(批準號:11402301)資助的課題
【分類號】：O536
【正文快照】： 當飛行器采用閉式感應耦合等離子體(ICP)源隱身時,放電腔的外形必須根據飛行器的特殊部位外形來設計,文獻[1]的吸波雷達罩采用一種由石英制作薄夾層真空腔ICP放電結構。由于真空工藝和結構的限制,無法加裝郎繆爾探針,因此利用微波單端反射干涉法診斷夾層腔中等離子體的電子密

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本文編號：1315035