本文關(guān)鍵詞：激光織構(gòu)化TiN薄膜的干摩擦性能研究

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【摘要】：采用固體Nd:YAG激光器對離子鍍TiN薄膜進(jìn)行織構(gòu)化處理,表征了薄膜的結(jié)構(gòu)、形貌及凹坑織構(gòu)參數(shù).通過UMT-2往復(fù)式球-盤摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)評價(jià)了織構(gòu)化薄膜的摩擦磨損特性,研究了織構(gòu)形貌對TiN薄膜干摩擦條件下摩擦磨損性能的影響.研究結(jié)果表明:與未織構(gòu)化的TiN薄膜相比,織構(gòu)化TiN薄膜的平均摩擦系數(shù)降低,并且磨損率明顯減小,這說明織構(gòu)化TiN薄膜具有更好的耐磨損性能.摩擦過程中,凹坑織構(gòu)既捕獲了磨屑,又有利于摩擦過程中階躍運(yùn)動(dòng)的發(fā)生,易于將磨屑帶出磨痕,從而降低了摩擦磨損.
【作者單位】： 中國科學(xué)院蘭州化學(xué)物理研究所固體潤滑國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國科學(xué)院中國科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(51505463)資助~~
【分類號(hào)】：TB383.2;TN249
【正文快照】： 氮化鈦薄膜(Ti N)具有高硬度、良好的耐磨性及耐腐蝕性等優(yōu)異的性能,已經(jīng)成為較為廣泛應(yīng)用的硬質(zhì)薄膜材料之一[1 3].但是隨著材料加工技術(shù)的發(fā)展和防護(hù)要求的提高,以及一些運(yùn)動(dòng)部件預(yù)期服役壽命的延長,需進(jìn)一步對薄膜進(jìn)行改性從而提高它的耐磨性能.Received 1 July 2016,revi

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