本文關(guān)鍵詞：MEMS可調(diào)光衰減器的波長相關(guān)損耗優(yōu)化

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【摘要】：基于MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))扭鏡的光束偏轉(zhuǎn)技術(shù)是實(shí)現(xiàn)VOA(可調(diào)光衰減器)的主流技術(shù)方案之一,但其存在WDL(波長相關(guān)損耗)較大的問題。通過分析WDL的成因,提出了一種優(yōu)化設(shè)計(jì)方案。實(shí)驗(yàn)測得在波長范圍1.53~1.57μm與衰減范圍0~20dB內(nèi),WDL最大為0.21dB,驗(yàn)證了理論分析的正確性。
【作者單位】： 華中科技大學(xué)下一代互聯(lián)網(wǎng)接入系統(tǒng)國家工程實(shí)驗(yàn)室;華中科技大學(xué)光學(xué)與電子信息學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 光纖通信 可調(diào)光衰減器 波長相關(guān)損耗 微機(jī)電系統(tǒng)
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61107062)
【分類號】：TN715;TN929.11
【正文快照】： 0引言VOA(可調(diào)光衰減器)在光纖通信系統(tǒng)中有著廣泛的應(yīng)用,實(shí)現(xiàn)VOA的主流技術(shù)方案包括:基于平面光波導(dǎo)的熱光調(diào)諧馬赫-曾德干涉儀,基于熱光效應(yīng)的可調(diào)諧光波導(dǎo),MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))驅(qū)動的光纖位移技術(shù),MEMS驅(qū)動的光束擋板和基于MEMS扭鏡的光束偏轉(zhuǎn)技術(shù)[1-8]�；贛EMS扭鏡的VOA因

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