本文關(guān)鍵詞：透射式硅基液晶微顯示器研制

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【摘要】：設(shè)計(jì)并研制了一種單色透射式硅基液晶微顯示器,詳細(xì)論述了透射式硅基液晶微顯示器的整個(gè)研制工藝流程。為實(shí)現(xiàn)透射式結(jié)構(gòu),驅(qū)動(dòng)背板芯片采用SOI CMOS工藝設(shè)計(jì)并且流片;使用兩次鍵合的工藝完成了驅(qū)動(dòng)背板芯片硅外延層的剝離和轉(zhuǎn)移,掌握了實(shí)現(xiàn)透明背板的關(guān)鍵技術(shù);以此透明背板為驅(qū)動(dòng)基板完成了SXGA單色透射式硅基液晶微顯示器的研制。
【作者單位】： 國(guó)家平板顯示工程技術(shù)研究中心;中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第五十五研究所;總參陸航部駐上海地區(qū)軍事代表室;
【關(guān)鍵詞】： 微顯示器 透射式硅基液晶 集成電路外延層剝離與轉(zhuǎn)移
【基金】：總裝備部預(yù)研管理中心“十二五”預(yù)研項(xiàng)目支持
【分類號(hào)】：TN873.93
【正文快照】： 3.總參陸航部駐上海地區(qū)軍事代表室,上海200233)*引言硅基液晶(Liquid Crystal on Silicon,LCoS)微顯示器,它融合了半導(dǎo)體CMOS集成電路與液晶顯示兩項(xiàng)技術(shù)的優(yōu)勢(shì),具有尺寸小和分辨率高的雙重特點(diǎn)。硅基液晶微顯示器利用晶體硅CMOS芯片背板集成有源矩陣像素電路及行列驅(qū)動(dòng)電路,

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本文編號(hào)：673841