摩擦工藝ESD(Electrostatic Discharge)是TFT-LCD制程中較為常見(jiàn)的一種不良,以317.5mm(12.5 in)產(chǎn)品為例,摩擦工藝過(guò)程中ESD發(fā)生率20%,對(duì)產(chǎn)品良率影響較大。文章結(jié)合實(shí)際生產(chǎn)對(duì)摩擦工藝ESD的原因進(jìn)行理論分析與實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,得出摩擦工藝發(fā)生ESD的原因?yàn)門(mén)FT基板上面有懸空的大塊金屬,在摩擦過(guò)程中電荷積累過(guò)多容易發(fā)生ESD,ESD進(jìn)一步燒毀旁邊金屬電路導(dǎo)致面板點(diǎn)亮?xí)r畫(huà)面異常。生產(chǎn)過(guò)程中通過(guò)工藝管控和產(chǎn)品設(shè)計(jì)兩方面優(yōu)化改善,工藝方面通過(guò)增加濕度,涂布防靜電液以及管控摩擦布?jí)勖M(jìn)行改善,設(shè)計(jì)方面通過(guò)變更懸空的大塊金屬為小塊金屬,通過(guò)工藝設(shè)計(jì)優(yōu)化最終生產(chǎn)過(guò)程中摩擦工藝ESD發(fā)生率由20%下降到0%,大大提高了產(chǎn)品品質(zhì),降低了生產(chǎn)成本。

【文章頁(yè)數(shù)】：5 頁(yè)

【文章目錄】：
1 引言
2 ESD現(xiàn)象與特點(diǎn)
    2.1 ESD器件燒毀現(xiàn)象
3 ESD原理
4 實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)
    4.1 工藝影響
        4.1.1 摩擦設(shè)備濕度對(duì)ESD的影響
        4.1.2 設(shè)備機(jī)臺(tái)涂布防靜電液對(duì)ESD的影響
        4.1.3 摩擦布?jí)勖鼘?duì)ESD影響
    4.2 設(shè)計(jì)影響
5 結(jié)果與討論
    5.1 工藝方面
        5.1.1 摩擦設(shè)備濕度對(duì)ESD影響結(jié)果
        5.1.2 設(shè)備機(jī)臺(tái)涂布防靜電液對(duì)ESD的影響
        5.1.3 不同摩擦布?jí)勖鼘?duì)ESD影響
    5.2 設(shè)計(jì)方面
        5.2.1 玻璃基板懸空的大塊金屬對(duì)ESD影響
6 結(jié)論



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