本文關鍵詞：220GHz折疊波導UV-LIGA微加工工藝（英文）

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【摘要】：真空電子器件的頻率正向太赫茲頻段發(fā)展,折疊波導慢波結構是行波管的核心部件,由于真空器件的尺寸與波長具有共渡性,頻率越高,互作用結構的尺度越小,加工誤差的要求越嚴格。傳統(tǒng)的加工方法很難實現(xiàn)如此微小尺寸的結構,UVLIGA技術對于制造這種微型結構是一種很有前途的方法。用UV-LIGA方法制備真空器件的慢波結構,涉及到兩個主要的問題:一是SU8厚膠勻膠過程中如何確保其厚度及其一致性;二是橫向貫穿折疊波導中心的電子注通道如何成型。以220GHz折疊波導為研究對象,針對上述兩個問題開展了相關的工藝試驗,使用特制的PDMS模具,采用重力勻膠法,實現(xiàn)了大厚度SU8膠勻膠,表面平整,高度一致。在SU8光刻膠中通過專用夾具,嵌入透明有機絲,形成細長電子注通道。而后,采用脈沖電鑄電源,在硫酸銅電鑄液中電鑄,獲得了表面平整的無氧銅微結構。
【作者單位】： 中國科學院電子學研究所;中國科學院高能物理研究所;北京大學應用電子學研究所;
【基金】：supported by National Defense Pre-Research Foundation of China(9140A230202)
【分類號】：TN814
【正文快照】： PACS:85.45.-w;84.40.FeTraveling wave tube(TWT)as an amplifier is an important technology for new types of communication,concealed metallic weapon detection,medical imaging,material science,space science and radar applications,etc.Lower frequency(lower th

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