微納技術(shù)的不斷發(fā)展,各種微納器件涌現(xiàn),廣泛應(yīng)用于工程材料、國(guó)防科研、生物技術(shù)等領(lǐng)域。微納技術(shù)已經(jīng)成為衡量國(guó)家尖端科學(xué)技術(shù)水平的指標(biāo)之一。而檢測(cè)技術(shù)與微納加工技術(shù)相輔相成,是加工精度的重要保障,檢測(cè)方法不斷的向高精度、快速三維檢測(cè)的方向發(fā)展。近年來,隨著光場(chǎng)相機(jī)的發(fā)展,作為計(jì)算光學(xué)成像領(lǐng)域的一個(gè)重要分支,光場(chǎng)成像技術(shù)不僅記錄了三維物體的空間強(qiáng)度,而且能夠捕獲物體輻射光線的傳播方向信息。這為解決空間深度信息提取、快速三維重建、高精度測(cè)量等問題提供了新途徑。光場(chǎng)成像技術(shù)高精度、快速三維檢測(cè)的特點(diǎn)得到越來越多的關(guān)注。因此,本文提出基于光場(chǎng)成像原理的微納結(jié)構(gòu)檢測(cè)方法,對(duì)光場(chǎng)檢測(cè)原理、光場(chǎng)深度提取方法、微透鏡陣列設(shè)計(jì)加工和檢測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行了深入的理論和應(yīng)用研究,旨在搭建一套完備的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),對(duì)理論方法進(jìn)行驗(yàn)證,為光場(chǎng)顯微檢測(cè)領(lǐng)域提供可靠的參考。具體開展的研究工作和取得的研究結(jié)果如下。第一,研究光場(chǎng)成像當(dāng)前理論成果,結(jié)合仿真實(shí)驗(yàn),對(duì)檢測(cè)光學(xué)模型和數(shù)學(xué)模型進(jìn)行研究。對(duì)光場(chǎng)圖像的基本處理方法進(jìn)行分析,結(jié)合實(shí)際光場(chǎng)圖像和仿真圖像進(jìn)行分析。分別對(duì)光場(chǎng)重聚焦、光場(chǎng)極平面圖像(Epipolar Plane Image...

【文章頁(yè)數(shù)】：143 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：博士

本文編號(hào)：3881929