本文選題：機器視覺　切入點：顯微成像　出處：《光學精密工程》2016年09期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：考慮顯微光學涉及的聚焦精度對機器視覺精密測量效果的影響,開展了顯微視覺環(huán)境下對圖像聚焦技術綜合定量評價的研究。建立了偏移率等系列性能指標,對13組清晰度函數(shù)在顯微視覺條件下的無偏性、單峰性、分辨力等進行了綜合評價,優(yōu)選出方差函數(shù)和Brenner函數(shù)分別用于粗聚焦和精聚焦階段的清晰度計算。建立了分步爬山搜索法,實現(xiàn)了顯微自動聚焦。與傳統(tǒng)爬山法相比,提出的方法聚焦時間顯著縮短,重復精度提高約24%。將建立的自動聚焦與圖像測量方法應用于某電液伺服閥銜鐵氣隙測量中,得到的測量均值與工具顯微鏡結果相近,而測量標準差可達1.9μm,測量效率也顯著提高。最后對伺服閥加電條件下的氣隙動力學特性進行了測試,獲得了驅動電流-銜鐵氣隙之間的關系,為在線裝配/裝調提供了重要依據(jù)。
[Abstract]:Considering the effect of focusing precision involved in microscopic optics on the precision measurement effect of machine vision, the comprehensive quantitative evaluation of image focusing technology is studied in the environment of microscopic vision, and a series of performance indexes, such as offset ratio, are established. The unbias, single peak and resolution of 13 groups of definition functions under microscopic vision were evaluated. The variance function and Brenner function are selected to calculate the sharpness of coarse focus and fine focus, respectively. A step by step mountain climbing search method is established to realize microscopic auto-focusing. Compared with the traditional hill climbing method, the focus time of the proposed method is significantly shortened. The automatic focusing and image measurement method has been applied to the measurement of the armature air gap of an electro-hydraulic servo valve. The mean value of the measurement is similar to that of the tool microscope. The measurement standard deviation can reach 1.9 渭 m, and the measurement efficiency is also improved significantly. Finally, the dynamic characteristics of the air gap under the condition of the servo valve charging are tested, and the relationship between the driving current and the air gap of the armature is obtained. It provides an important basis for online assembly / assembly.
【作者單位】： 大連理工大學微納米技術及系統(tǒng)遼寧省重點實驗室;
【基金】：國家科技重大專項基金資助項目(No.2013ZX04001091)
【分類號】：TP391.41

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