本文關(guān)鍵詞：微小尺度下平板間氣體流動(dòng)機(jī)理及壓力特性分析

  更多相關(guān)文章： 微機(jī)電系統(tǒng) 微流體 速度滑移 Knudsen數(shù) 分子碰撞

【摘要】：基于平板間氣膜內(nèi)氣體分子運(yùn)動(dòng)和碰撞的規(guī)律,提出氣膜分層理論,將板間氣膜內(nèi)的氣體劃分為近壁層、稀薄層、連續(xù)流層。給出了劃分稀薄層和連續(xù)流層的依據(jù),建立分層物理模型并提出每層的控制方程,驗(yàn)證了分層理論的合理性。通過(guò)大規(guī)模原子/分子大型并行模擬器仿真板間氣膜內(nèi)氣體流態(tài)并計(jì)算沿高度方向的壓力,得出了如下結(jié)論:隨著板間氣體流速的增大,板間氣膜有效壓力減小,連續(xù)流層的厚度增大,稀薄層的厚度減小;當(dāng)氣體流速到達(dá)一定值時(shí),氣膜內(nèi)壓力不再分層,速度滑移現(xiàn)象可以忽略。
【作者單位】： 昆明理工大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 微機(jī)電系統(tǒng) 微流體 速度滑移 Knudsen數(shù) 分子碰撞
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51305185)
【分類(lèi)號(hào)】：O35;TH-39
【正文快照】： [12]朱心雄.自由曲線曲面造型技術(shù)[M].北京:科學(xué)出版社,2000.[13]Takeuchi Yoshimi,Asakawa Naoki,Ge Donfang.Automation of Polishing Work by an IndustrialRobot[J].JSME International Journal,1993,36(4):556-561.[14]熊有倫,丁漢,劉恩滄.機(jī)器人學(xué)[M].北京:機(jī)械工業(yè)出版

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 黃平;吳彥華;牛榮軍;;影響磁頭超薄氣膜飛行穩(wěn)態(tài)特性因素的數(shù)值分析[J];華南理工大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2007年12期

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本文編號(hào)：952157