本文關鍵詞：粗糙表面的黏著試驗研究

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【摘要】：在微機械電子系統(tǒng)中,表面粗糙峰的幾何特征、尺寸以及形狀等對表面黏著以及摩擦特性有重要作用.為了研究粗糙度對黏著力的影響,首先用KOH溶液腐蝕硅片,得到8個粗糙度不同的樣品.使用原子力顯微鏡(AFM)來測量樣品的黏著力.分別使用兩種探針來模擬不同的接觸幾何,第一種探針針尖為一個2μm左右的平臺,另一種探針為尖探針.試驗分別在干燥的手套箱內(nèi)以及在空氣中進行.在樣品表面隨機選取15個測量點,每個點測量50次,然后根據(jù)計算值,確定平面的平均黏著力以及標準差.并與Robinovich模型的計算結果作比較.結果顯示:當粗糙度較小的時候,隨著粗糙度增大,黏著力下降很快,這與Robinovich模型變化趨勢較吻合;當粗糙度較大時,隨著粗糙度增大黏著力略有增加,但不是很明顯,與Robinovich模型相差較大.
【作者單位】： 華南理工大學機械與汽車工程學院;
【關鍵詞】： 粗糙表面 原子力顯微鏡 黏著力 試驗
【基金】：國家自然科學基金項目(51175182)資助~~
【分類號】：TH117.1
【正文快照】： 隨著微機械電子技術的發(fā)展,越來越多的微納米元器件和設備被廣泛的使用.在宏觀下,物體主要受到的是慣性力的作用;而在微納米尺度下,由于較大的表面積與體積比,更多的是受到表面效應.因此,在微納元器件的設計中要考慮表面效應的影響,提高元器件的強度以及減小表面力.其中,黏著

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本文編號：531388