電容式微機(jī)械聲學(xué)傳感器(CMUT)具有高帶寬、易集成陣列化、無(wú)需匹配層、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn),利用CMUT器件檢測(cè)納米梁產(chǎn)生的聲波信號(hào),得到納米梁的振動(dòng)信息,將CMUT器件置于納米梁下方作為振動(dòng)信號(hào)檢測(cè)傳感器。應(yīng)用靜電反饋控制器,以Euler-Bornoulli梁為振動(dòng)模型,提出基于CMUT傳感的納米梁非線性振動(dòng)控制方法,建立納米梁非線性振動(dòng)微分方程,應(yīng)用多尺度方法研究納米梁的非線性振動(dòng)控制。分析了控制增益等系統(tǒng)參數(shù)與納米梁非線性振動(dòng)之間的關(guān)系,研究了改變系統(tǒng)參數(shù)來增強(qiáng)系統(tǒng)振動(dòng)穩(wěn)定性的方法。研究結(jié)果表明,選擇合適的系統(tǒng)參數(shù)可以減弱甚至消除系統(tǒng)振動(dòng)的非線性并增強(qiáng)系統(tǒng)的穩(wěn)定性。

【文章頁(yè)數(shù)】：6 頁(yè)

【文章目錄】：
1 電容式微機(jī)械聲學(xué)傳感器原理
2 基于電容信號(hào)傳感的納米梁靜電激勵(lì)振動(dòng)控制模型
3 數(shù)值模擬及分析
4 結(jié)論



本文編號(hào)：3767420