如今，在微機械電子系統(tǒng)（MEMS）領域，人們對微流體系統(tǒng)的研究逐漸升溫，即化學分析系統(tǒng)和微制劑系統(tǒng)。微泵是微流體系統(tǒng)的基本組件之一。最近幾年研制出幾種基于不同的驅動原理和用途的微泵，有的已經進入實用階段。 本文對微泵進行了理論分析，建立了微泵模型的基本方程，求出了流量、壓力。建立了靜電、壓電驅動的微泵薄膜變形的模型，推導出了圓形薄板固有頻率。 提出了一種雙腔微泵結構設計方案，這種泵分為上下兩個泵腔，上面泵腔由腔壁與上下兩層薄膜圍成，每層薄膜上都有一層PZT片；而下面泵腔則由腔壁與圍成上面泵腔的下層硅薄膜及一層玻璃圍成，出入口處采用環(huán)形閥門結構，泵膜和閥片的材料為硅。泵體半徑為3mm，泵膜半徑為2mm，泵膜厚度為5μm，PZT片厚度為10μm，泵體高度為1000μm，方波驅動電壓為50V,驅動頻率為4000Hz。 建立了微泵膜片的有限元模型，采用直接耦合法模擬分析了微泵膜片在壓電驅動下產生的形變和由此引起的微泵腔體體積的變化，得出了膜片厚度、形狀、和壓電驅動電壓對微泵腔體體積變化的影響。微泵膜片的動態(tài)特性與微泵的工作效率密切相關，本文得出了膜片振動的固有頻率與膜片厚度之... 

【文章來源】：沈陽工業(yè)大學遼寧省

【文章頁數】：74 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

圓形膜片有限元模型

沈陽工業(yè)大學碩士學位論文輸出效率的影響，對等體積的圓形、正方形和長方形膜片度為30協(xié)m的情況下，對各種膜片變形導分析計算，可得到在不同驅動電壓下微泵洲洲洲洲洲沖十州冷什甲州十曰，月十州寧，斤曰，門下「r一.『11川rrTTTTT洲洲洲洲洲咔十州曰”，r護個呀門叮下門『下了曰，，t丁.‘曰.‘『『『

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【參考文獻】：
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本文編號：3030258