磁懸浮轉(zhuǎn)子系統(tǒng)的溫度場實驗研究
【學(xué)位單位】:武漢理工大學(xué)
【學(xué)位級別】:碩士
【學(xué)位年份】:2006
【中圖分類】:TH113
【部分圖文】:
磁力軸承真空泵
圖1.1衛(wèi)星用飛輪電池圖1.2磁懸浮飛輪電池電力調(diào)峰在真空和超凈環(huán)境中的應(yīng)用近幾年來,由于半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、離子蝕刻和液晶顯示器件等應(yīng)用領(lǐng)域速發(fā)展,其質(zhì)量要求越來越高,過去常用的有油污染的真空系統(tǒng)難以保證制備些材料的純度和質(zhì)量,有逐漸被淘汰的趨勢,這種系統(tǒng)己被無油污染的干式清真空泵取代。
圖1.1衛(wèi)星用飛輪電池圖1.2磁懸浮飛輪電池電力調(diào)峰在真空和超凈環(huán)境中的應(yīng)用近幾年來,由于半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、離子蝕刻和液晶顯示器件等應(yīng)用領(lǐng)域速發(fā)展,其質(zhì)量要求越來越高,過去常用的有油污染的真空系統(tǒng)難以保證制備些材料的純度和質(zhì)量,有逐漸被淘汰的趨勢,這種系統(tǒng)己被無油污染的干式清真空泵取代。
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本文編號:2823723
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