非回轉非容積型無閥壓電泵的動力學分析和實驗研究
【學位授予單位】:南京航空航天大學
【學位級別】:博士
【學位授予年份】:2012
【分類號】:TH38
【圖文】:
L.Smith和AHok的被動閥
圖 1.3 L. Smith 和 AHok 的被動閥 圖 1.4 H. Yang 提出的雙晶片被動閥B. Li 等(2003 年)開發(fā)了帶有高頻高壓微被動閥的壓電泵(見圖 1.5)[25]。其新型的十字形微閥區(qū)域用于增大閥結構的剛度,壓力可達到 10 MPa;機械泵閥制動器使得閥區(qū)域在極端高壓的條件下失效。閥區(qū)域是在硅基板上用電化鎳制作而成的,工作頻率可在 104Hz 以上;閥渠道由深度反應離子刻蝕加工而成,閥總重為 0.2 g,集成在緊湊型壓電泵中,在 3×105Pa 背壓下流量達到 18 mL/min,當工作頻率 10 KHz 時壓差為 2.4 MPa。圖 1.5 緊湊型壓電泵的被動微閥曾平、劉國君等(2005 年)提出了球閥式壓電泵(圖 1.6)[26], 并分析了球閥式壓電薄膜
【參考文獻】
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本文編號:2726600
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