【摘要】： 磁懸浮軸承是一種典型的機電一體化產品,是利用磁力作用將轉子懸浮于空中的一種新型高性能軸承。與傳統軸承相比,具有無接觸、無摩擦、壽命長、能耗低、噪聲小、無需潤滑等優(yōu)點,實際應用越來越廣泛。本課題研究的目的是,解決傳統軸承型分子泵應用在半導體制造行業(yè)時出現轉速低、壽命短、真空不潔凈等問題,設計分子泵的磁懸浮軸承結構和功率放大器,對實現分子泵在半導體工業(yè)中的良好應用有著重要的意義。 首先綜合考慮了分子泵體積小、磁軸承散熱條件不好的特點,設計了分子泵磁懸浮軸承的結構,選擇了軸承鐵芯的材料,設計了磁極的布置、槽的形狀、磁極數目和線圈纏繞方式。 其次,為了得到最佳結構參數,對分子泵磁軸承結構參數進行了優(yōu)化設計,建立了磁軸承結構設計優(yōu)化模型,以磁軸承體積最小為優(yōu)化目標,以線圈溫升小于允許溫升和承載力滿足載荷要求等為約束條件。 最后闡述了功率放大器的工作原理和特性,在分析了目前開關功率放大器所采用的調制技術、比較了各種調制技術優(yōu)缺點的基礎上,設計了脈寬調制開關功率放大器的電路,并進行了調試。測試了開關功率放大器的相關特性,試驗結果表明該功率放大器頻帶寬、輸入輸出線性度好、效率高、電流紋波小,達到了設計要求。
【圖文】：

泵技術的發(fā)展與現狀采用滾珠軸承，但是很快就暴露、振動和噪音高以及抽取真空的承。這時，具有高轉速、長壽命BOLD 公司首先開發(fā)了完全無接固定、帶有葉列的轉子在軸的機時輔助軸承的直徑較大,易引一種內環(huán)式旋轉的，即以軸旋轉了這種渦輪分子泵[27,28]。產的磁懸浮型分子泵如圖 1-2 所為 30,000～40,000r/min，重量小 10-8~10-10mbar。

圖 2-1 鐵磁材料的磁滯回線與磁化曲線-1 Hysteresis loop and B-H curve of ferromagnetic m數設計的原則是使磁軸承電氣性能好、制造工藝小附加損耗，提高效率，同時槽數多，線能力強，降低線圈溫升。但磁極數增多，，且當磁極數達到一定值時，再增加磁極的耦合效應，結合經濟性要求，一般磁極子適應于直徑 80mm 以下的轉子；24 極子；32 極的定子適應直徑 200mm 以上的同磁極數所得到的不同優(yōu)化結果加以對比來狀設計
【學位授予單位】：哈爾濱工業(yè)大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2006
【分類號】：TH133.3

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本文編號：2646174