【摘要】：設(shè)計(jì)了一種新型水平面內(nèi)微驅(qū)動(dòng)器,其具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,響應(yīng)速度快,輸出位移大的特點(diǎn)。通過(guò)ANSYS軟件建立了微驅(qū)動(dòng)器的有限元模型,并對(duì)其進(jìn)行壓電分析,獲得y、z向的變形圖,其輸出端的y、z向位移分別為0.61μm和1.13μm。經(jīng)過(guò)模態(tài)分析獲得微驅(qū)動(dòng)器的前五階共振頻率,并提取了前三階振型圖,研究結(jié)果可知共振狀態(tài)對(duì)微驅(qū)動(dòng)器工作的影響狀況。對(duì)微驅(qū)動(dòng)器的關(guān)鍵尺寸進(jìn)行了參數(shù)化研究,可對(duì)微驅(qū)動(dòng)器的進(jìn)一步設(shè)計(jì)提供理論指導(dǎo)。
【圖文】：

特點(diǎn)［１－３］，作為微機(jī)電系統(tǒng)的重要組成部分，一直伴隨著微機(jī)電系統(tǒng)的發(fā)展而發(fā)展，可應(yīng)用于航空航天、慣性制導(dǎo)、汽車(chē)電子、微型機(jī)器人、移動(dòng)通信等領(lǐng)域。壓電材料具有正逆壓電效應(yīng)，既可用于制造傳感元件又可用于制造驅(qū)動(dòng)元件，壓電驅(qū)動(dòng)器就是利用壓電材料的逆壓電效應(yīng)，實(shí)現(xiàn)晶體的機(jī)械變形，從而提供驅(qū)動(dòng)力或驅(qū)動(dòng)位移，本文利用有限元軟件ＡＮ－ＳＹＳ１５．０對(duì)水平面內(nèi)壓電微驅(qū)動(dòng)器進(jìn)行了壓電分析與模態(tài)分析，并對(duì)各尺寸參數(shù)對(duì)輸出位移的影響情況進(jìn)行了研究。１微驅(qū)動(dòng)器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與原理分析圖１為微驅(qū)動(dòng)器的設(shè)計(jì)采用雙層復(fù)合結(jié)構(gòu)。上層為壓電陶瓷材料，下層為多晶硅材料，硅基體設(shè)計(jì)為對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)，其主要由位于根部的支撐端、輸出端、中心橫梁、四周斜梁及伸出部分構(gòu)成，，其尺寸參數(shù)如圖１微驅(qū)動(dòng)器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖

＝００－４．１００－４．１００１４．１００００１０．５０１０．q縬纐模擔(dān)埃皅牛茫恚玻ǎ玻┫嘍越櫚緹卣螅郟矗葒牛潁劍福埃矗叮埃埃埃福埃矗叮埃埃埃叮擔(dān)梗畄縬纐模穛牛ǎ常玻蔽⑶韉難溝綬治齠暈⑶韉鬧С哦聳┘尤雜啥裙潭ㄔ際諮溝綾∧さ南鹵礱媸┘櫻玻埃值繆�，上钡a娼擁�。哇E病ⅲ撤直鷂⑶髟冢�、ｚ份^虻謀湫甕�。微驱动启|涑齠耍蛭灰莆埃叮寶蹋恚蛭灰莆保保腸蹋懟Ｍ跡玻蟣湫甕紀(jì)跡常蟣湫甕幾謀溲溝綾∧は鹵礱婕だ繆溝拇笮。郟擔(dān)叮藎跡次涑齠宋灰坪圖だ繆辜淶墓叵登�。输除f耍ⅲ蛭灰貧加?xùn)V淙氳繆鉤燒壤咝怨叵�。所诣�賞ü齟蠹だ繆估刺岣呤涑齠慫矯婺冢蛭灰頻氖涑觶幣悸鞘涑齠耍蛭灰圃齟蠖運(yùn)絞涑鎏匭緣撓跋臁Ｍ跡吹繆梗灰乒叵登擼玻參⑶韉哪Ｌ治鐾üＬ治觶郟罰福萑范ㄎ⑶韉惱穸匭�，以分锡r艙衲Ｌ暈⑶鞴ぷ髯刺撓跋燁榭觥＃罰保囪溝纈肷猓玻埃保賭

本文編號(hào)：2564555