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機械刻劃光柵刻線誤差及其修正方法研究

     論文目錄

摘要第1-7頁

Abstract第7-13頁

第1章 緒論第13-29頁

   ·研究背景及意義第13-16頁

   ·光柵刻劃機的國內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀第16-20頁

   ·機械刻劃光柵刻線誤差修正方法的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀第20-26頁

     ·機械修正方法第22-24頁

     ·光電控制方法第24-26頁

   ·論文主要研究內(nèi)容和結(jié)構(gòu)安排第26-29頁

     ·論文的主要研究內(nèi)容第26-27頁

     ·論文的結(jié)構(gòu)安排第27-29頁

第2章 光柵刻劃機工作原理、誤差分析及光電控制方法第29-45頁

   ·引言第29頁

   ·光柵刻劃機運行方式及主要工作原理第29-36頁

     ·光柵刻劃機的主要運行方式第29-31頁

     ·光柵刻劃機刻劃系統(tǒng)工作原理第31-33頁

     ·光柵刻劃機分度系統(tǒng)工作原理第33-36頁

   ·機械刻劃光柵的刻線誤差主要來源及其分析方法第36-41頁

     ·光柵刻線誤差的主要來源第36-38頁

     ·有限元分析法在光柵刻線誤差來源分析中的應(yīng)用第38-40頁

     ·非理想平面光柵的衍射成像性能分析方法第40-41頁

   ·光柵刻劃機微定位工作臺的光電控制方法第41-44頁

     ·微定位工作臺系統(tǒng)辨識方法第41-42頁

     ·微定位工作臺控制算法第42-43頁

     ·微定位工作臺位移和擺角測量方法第43-44頁

   ·本章小結(jié)第44-45頁

第3章 刻線誤差與基底面型誤差分離方法及其對光柵性能影響分析第45-61頁

   ·引言第45-46頁

   ·基底面型誤差、刻線誤差與光柵衍射波前關(guān)系的理論模型第46-48頁

   ·光柵衍射光譜性能的二維快速傅里葉變換分析方法第48-53頁

     ·惠更斯原理的近似表達式第48-50頁

     ·光柵衍射譜光強分布的二維快速傅里葉變換方法第50-52頁

     ·光柵性能指標(biāo)求解方法第52-53頁

   ·實驗驗證及分析第53-60頁

     ·光柵刻線誤差和基底面型誤差分離實驗第53-55頁

     ·刻線誤差和基底面型誤差對光柵光譜性能影響分析第55-58頁

     ·任意級衍射波前重構(gòu)及其與實測衍射波前對比分析第58-60頁

   ·結(jié)論第60-61頁

第4章 刻線彎曲與刻線位置誤差對光柵性能影響及機械修正方法第61-91頁

   ·引言第61-62頁

   ·非理想平面光柵的光線追跡分析法第62-68頁

     ·非理想平面光柵成像系統(tǒng)的理論模型第62-64頁

     ·等間距刻線彎曲和刻線位置誤差對光柵性能影響分析第64-68頁

   ·光柵等間距刻線彎曲的機械修正方法第68-80頁

     ·刻劃刀架系統(tǒng)結(jié)構(gòu)對稱性問題的機械修正方法第69-72頁

     ·石英導(dǎo)軌系統(tǒng)剛度問題的機械修正方法第72-75頁

     ·刻劃刀架系統(tǒng)驅(qū)動方式問題的機械修正方法第75-80頁

   ·光柵刻線位置誤差的機械修正方法第80-90頁

     ·光柵刻線不完整問題的機械修正方法第80-83頁

     ·刻劃刀架系統(tǒng)運行穩(wěn)定性問題的機械修正方法第83-90頁

   ·結(jié)論第90-91頁

第5章 光柵刻劃機微定位工作臺擺角誤差實時修正技術(shù)研究第91-137頁

   ·引言第91-92頁

   ·光柵刻劃機微定位工作臺系統(tǒng)建模及動態(tài)性能分析第92-101頁

     ·微定位工作臺系統(tǒng)的灰箱建模第92-94頁

     ·微定位工作臺系統(tǒng)參數(shù)估計第94-97頁

     ·微定位工作臺系統(tǒng)動態(tài)性能分析第97-101頁

   ·微定位工作臺的BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)PID控制方法第101-115頁

     ·BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)PID控制原理第102-106頁

     ·BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)PID控制器仿真分析第106-110頁

     ·BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)PID控制與傳統(tǒng)PID控制對比實驗第110-115頁

   ·微定位工作臺擺角誤差實時修正方法及實驗分析第115-134頁

     ·雙壓電陶瓷式擺角誤差實時修正原理第116頁

     ·單壓電陶瓷式擺角誤差實時修正原理第116-121頁

     ·微定位工作臺擺角誤差測量實驗及誤差分析第121-129頁

     ·光柵刻劃機微定位工作臺擺角誤差修正實驗及分析第129-134頁

   ·本章小結(jié)第134-137頁

第6章 總結(jié)與展望第137-141頁

   ·論文工作總結(jié)第137-138頁

   ·展望第138-141頁

參考文獻第141-149頁

在學(xué)期間學(xué)術(shù)成果情況第149-151頁

指導(dǎo)教師及作者簡介第151-153頁

致謝第153-154頁

論文編號BS1930556，這篇論文共154頁
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