本文關鍵詞：硅微機械諧振壓力傳感器技術發(fā)展，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

一種硅微諧振式壓力傳感器的敏感膜片設計

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硅微諧振式壓力傳感器芯體設計與制作工藝研究

硅微諧振式壓力傳感器芯體設計與制作工藝研究_機械/儀表_工程科技_專業(yè)資料。壓力...硅微壓阻式壓力傳感器由壓力敏感膜片和制作在其 表面上的壓敏電阻兩部分構成,當...

硅諧振梁式壓力傳感器模擬計算

圖 1 硅微結構諧振梁式壓力傳感器敏感結構 2 諧振敏感結構 圖 1 所示為硅微結構諧振梁式壓力傳感器的敏感部分,方膜片為一次敏感元件, 半邊長和厚度分別用 A,H...

微壓力傳感器參數(shù)設計及靈敏度分析

一種硅微諧振式壓力傳感... 7頁 1下載券 平膜片式薄膜壓力傳感器... 7頁 ...1芯片結構示圖 如果使用恒流源激勵時,電橋的輸出與力敏感電阻之間的 關系如式(...

硅微機械諧振壓力傳感器技術發(fā)展

簡單介紹硅微機械諧 振壓力傳感器的分類及工作原理,針對壓力敏感膜片與諧振器復合...是傳感器芯體設計,其芯體結構及其激勵與檢測方 式對傳感器精度和穩(wěn)定性影響最大...

硅微壓阻式壓力傳感器

一種硅微壓阻式壓力傳感器的研究 機械設計與制造 ...應用小撓度理論設計計算了壓阻式硅傳感器方形彈性膜片...的原理, 可以將其分為壓阻式、 電容式、諧振式...

硅壓力傳感器芯片設計分析與優(yōu)化設計

一種硅微諧振式壓力傳感器... 7頁 2財富值 壓力...分析了半導體硅壓阻式壓力傳感器方形膜片的受力分布,...從壓阻式壓力傳感器芯 片的敏感膜結構來看,有圓形...

壓阻式微型壓力傳感器敏感結構設計

省微/納米系統(tǒng)重點實驗室.陜西西安 摘要:在設計某一壓阻式壓力傳感器特定敏感...為零。若將4個電阻環(huán)繞硅膜片中心同向 布置,當膜片受到外界壓力作用時,一對...

壓阻式微型壓力傳感器敏感結構設計_易選強

壓阻式微型壓力傳感器敏感結構設計_易選強_機械/儀表_工程科技_專業(yè)資料。2008年 12月 第 26 卷第 6 期 西北工 業(yè)大學學報 Jo urnal o f N o rthw est...

諧振式硅微結構壓力傳感器非線性振動特性研究

度法展開研 [1 -5] 2 諧振式硅微結構壓力傳感器的結構及數(shù) 學模型圖 1 為諧振式 硅微結構壓 力傳感器的復 合敏感結 構 , 包括方膜片、 諧振子和邊界 ...

【論文】一種硅微壓阻式壓力傳感器的研究

研究了一種量程為20kPa的壓阻式微壓力傳感器,同時采用ANSYS仿真得出影響傳感器性能的一些規(guī)律。應用小撓度理論設計計算了壓阻式硅傳感器方形彈性膜片結構,并對圓形膜片...

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