劃片刀的刀刃長(zhǎng)度影響劃片刀的使用性能,而刀刃出露是控制刀刃長(zhǎng)度的關(guān)鍵工序。在連續(xù)生產(chǎn)中一次腐蝕多片,刀刃長(zhǎng)度存在波動(dòng)。針對(duì)此問題,以子組劃片刀刃長(zhǎng)極差為響應(yīng),以溶液溫度、溶液濃度、工件旋轉(zhuǎn)速度為影響因子,選擇正交試驗(yàn)設(shè)計(jì)方式獲取試驗(yàn)點(diǎn)并得到樣本集,再用最小二乘支持向量回歸法建立模型,最后用粒子群算法對(duì)所建模型進(jìn)行尋優(yōu),獲得優(yōu)化后的工藝參數(shù)。試驗(yàn)表明:該方法對(duì)降低劃片刀生產(chǎn)中刃長(zhǎng)波動(dòng)性有顯著效果,試驗(yàn)結(jié)果與建模尋優(yōu)結(jié)果的劃片刀刃長(zhǎng)極差僅相差2.1μm。

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圖2劃片刀生產(chǎn)工藝流程圖

在劃片刀生產(chǎn)工藝流程(圖2)中,刀刃出露是控制刀刃長(zhǎng)度的關(guān)鍵工序,且在連續(xù)生產(chǎn)中需要一次生產(chǎn)多片,片與片之間的刀刃長(zhǎng)度存在波動(dòng)性。因此,在相同工藝條件下,從批量生產(chǎn)的刀刃長(zhǎng)度穩(wěn)定性角度考慮,將刀刃出露工序的劃片刀刃長(zhǎng)極差作為響應(yīng),選取影響劃片刀刃長(zhǎng)控制的3個(gè)工藝參數(shù)作為影響因子進(jìn)....

圖1劃片刀結(jié)構(gòu)圖

劃片刀是集成電路、分立器件等半導(dǎo)體晶圓制造過程中進(jìn)行切割與開槽的重要工具,主要由鋁輪轂和刀刃等2部分組成,其中由金剛石磨料和鎳基結(jié)合劑構(gòu)成的刀刃是進(jìn)行劃切工作的主要部分,如圖1所示。刀刃長(zhǎng)度直接影響劃片刀的使用性能:刀刃過長(zhǎng)會(huì)導(dǎo)致剛度變差而引起切割縫蛇形彎曲;刀刃過短會(huì)導(dǎo)致使用壽....

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