采用可控陰極弧的沉積方法在GCr15基體上制備了梯度和調(diào)制多層結(jié)構(gòu)的氮化鉻/鉻（CrN/Cr）薄膜,對(duì)不同的CrN/Cr薄膜的組織結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能和耐磨性能進(jìn)行了研究。通過掃描電鏡、能量散射譜、X射線衍射、納米壓痕、劃痕試驗(yàn)、微摩擦磨損測(cè)試儀及形貌測(cè)試儀對(duì)薄膜的組織結(jié)構(gòu)、成份、力學(xué)性能、結(jié)合強(qiáng)度及耐磨性能進(jìn)行了分析。結(jié)果表明:制備的薄膜厚度約5.5μm,梯度結(jié)構(gòu)及調(diào)制多層CrN/Cr薄膜呈現(xiàn)明顯的立方CrN（111）（200）取向,薄膜力學(xué)性能（包括硬度,模量,結(jié)合強(qiáng)度等）及耐磨性能均與不同的結(jié)構(gòu)及調(diào)制周期相關(guān)。梯度結(jié)構(gòu)的CrN/Cr薄膜硬度達(dá)到25 GPa,結(jié)合強(qiáng)度55 N,磨損率為32.754×10-6mm3/N·m,力學(xué)及耐磨性能明顯優(yōu)于其它多層結(jié)構(gòu),說明梯度結(jié)構(gòu)可有效地改善CrN/Cr薄膜的性能。 

【文章來源】：真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào). 2015,35(12)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：6 頁

【文章目錄】：
1 實(shí)驗(yàn)方法
2 實(shí)驗(yàn)結(jié)果和分析
    2. 1 結(jié)構(gòu)分析
    2. 2 微觀結(jié)構(gòu)和表面形貌
    2. 3 硬度、結(jié)合力分析
    2. 4 摩擦磨損試驗(yàn)分析
3 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]脈沖電壓對(duì)HPPMS制備CrN薄膜的組織結(jié)構(gòu)與力學(xué)性能的影響[J]. 夏飛,張棟,鄒長(zhǎng)偉,柯培玲,王啟民,汪愛英.  真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào). 2014(10)
[2]活塞環(huán)表面CrN基復(fù)合膜的組織結(jié)構(gòu)與摩擦副匹配機(jī)理研究[J]. 蔡志海,張平,杜軍,趙軍軍.  真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào). 2010(05)



本文編號(hào)：3410542